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蒸着のセミナー・研修・出版物

薄膜の機械的物性と不良対策・高品質化

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本書籍は、薄膜の内部応力・硬さ・密着力のメカニズム・測定・評価、付着力・剥離などトラブル対策に必携の技術書です。
不良対策・成膜条件最適化と高品質な膜を作るためのケーススタディが詰まった一冊です。

大気圧プラズマの生成制御と応用技術

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本書籍では、フィルム、金属、粉体表面改質、ディスプレイ・半導体洗浄、エッチング、有機・無機薄膜、バイオ処理など、大気圧プラズマの応用技術について網羅した大気圧プラズマ初の技術書籍です。

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