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プラズマのセミナー・研修・出版物

大気圧プラズマの基礎と応用展開

2024年3月28日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、親水化処理、接着性向上、クリーニング等の分野で応用が広がる大気圧プラズマについて、基礎から分かりやすく解説いたします。
また、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理、殺菌、環境浄化等への最先端の応用例を解説いたします。

プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ

2024年2月29日(木) 10時00分2024年3月13日(水) 17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

半導体ドライエッチングの基礎と最新技術

2024年2月26日(月) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ

2024年2月16日(金) 10時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

大気圧プラズマの基礎と最新応用技術

2024年1月31日(水) 10時30分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、用途が広がる大気圧プラズマについて取り上げ、大気圧プラズマの基礎から表面処理、医療、農業、環境等への応用技術まで解説いたします。

プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門

2023年12月15日(金) 12時30分2023年12月19日(火) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマの生成機構や特徴について解説いたします。
また、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法など解説いたします。

ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向

2023年12月6日(水) 10時30分2023年12月19日(火) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門

2023年12月4日(月) 12時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマの生成機構や特徴について解説いたします。
また、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法など解説いたします。

プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ

2023年11月30日(木) 10時00分2023年12月13日(水) 17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向

2023年11月27日(月) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ

2023年11月20日(月) 10時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

薄膜形成におけるスパッタリングの基礎とトラブル対策

2023年9月11日(月) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、スパッタリングの基礎から解説し、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータ、希望の膜を得るための方法、日常の運用においてチェックしておくべき事項、トラブルが生じた際の対処方法を解説いたします。

スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策

2023年7月31日(月) 13時00分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、スパッタリング法の理解に欠かせない真空・プラズマから、各種スパッタリング法の特徴、薄膜の評価、異常放電・薄膜の剥離などのトラブルと対策、シミュレーション手法や最新動向まで解説いたします。
スパッタリング技術を上手く扱うために理解すべき知識・技術を、装置・プロセスの開発に多くの経験を有する講師が分かりやすく解説いたします。

プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎

2023年7月28日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象 (電離、解離、拡散、消滅) を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどのような過程で決定づけられているかを説明いたします。

大気圧プラズマの基礎知識

2023年6月30日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、大気圧プラズマに関する、基礎的な考え方、用語、特有の物理科学現象やプラズマの診断方法と最新の大気圧プラズマ応用例について解説いたします。
また、プラズマの代替手段として用いられるレーザーの基礎知識と応用例を紹介いたします。

大気圧プラズマの基礎と最新応用技術

2023年6月29日(木) 10時30分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、用途が広がる大気圧プラズマについて取り上げ、大気圧プラズマの基礎から表面処理、医療、農業、環境等への応用技術まで解説いたします。

スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策

2023年5月31日(水) 13時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、スパッタリング法の理解に欠かせない真空・プラズマから、各種スパッタリング法の特徴、薄膜の評価、異常放電・薄膜の剥離などのトラブルと対策、シミュレーション手法や最新動向まで解説いたします。
スパッタリング技術を上手く扱うために理解すべき知識・技術を、装置・プロセスの開発に多くの経験を有する講師が分かりやすく解説いたします。

プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、及び量産化対応

2023年5月30日(火) 13時00分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心に紹介いたします。

プラズマによる表面改質技術の基礎と応用

2023年5月30日(火) 12時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマ照射により材料表面で生じている現象等、基礎事項の解説から、各種材料 (金属、ポリマー等) の表面改質や機能性発現技術までわかりやすく解説いたします。

半導体ドライエッチングの基礎と最新技術

2023年3月10日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ

2023年2月24日(金) 10時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

大気圧プラズマの基礎と最新応用技術

2023年1月26日(木) 10時30分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、用途が広がる大気圧プラズマについて取り上げ、大気圧プラズマの基礎から表面処理、医療、農業、環境等への応用技術まで解説いたします。

大気圧プラズマの必須基礎知識と産業応用技術

2022年11月28日(月) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、大気圧プラズマについて基礎から解説いたします。
また、樹脂、ガラス、繊維の表面処理および排ガス処理、殺菌、水浄化、VOC分解、空気清浄機などへの応用について解説いたします。

プラズマの生成、制御、計測技術とプロセスへの応用

2022年11月8日(火) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマの基礎から解説し、プラズマの各種生成法、現象や反応の理解、モニタリングまで、所望のプラズマプロセスを実現するための要素技術を解説いたします。

プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎

2022年10月20日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象 (電離、解離、拡散、消滅) を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどのような過程で決定づけられているかを説明いたします。

大気圧・真空プラズマ技術を用いた各種表面処理プロセス技術

2022年9月22日(木) 13時00分16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、大気圧・真空プラズマ技術について基礎から解説し、従来のウェットプロセスとプラズマプロセスなどのドライプロセスとの比較を通して、プラズマプロセスの特徴を解説いたします。
現在、抱えている現在の技術課題の解決にプラズマを用いることができるか、また今後のプラズマプロセスの導入の具体的なご検討を頂けるような事例を紹介いたします。

大気圧プラズマによる表面改質とぬれ性改善

2022年8月17日(水) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、大気圧プラズマについて基礎から解説し、プラスチック・ガラス・ポリマー・金属等の大気圧プラズマ表面処理技術について詳解いたします。

大気圧プラズマによる樹脂の表面処理技術

2022年8月3日(水) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマの基礎から解説し、大気圧プラズマによる樹脂の接着前処理など表面処理技術を産業応用の事例を交えて、分かりやすく解説いたします。

プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ

2022年7月27日(水) 10時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

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