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エッチングのセミナー・研修・出版物

CVDプロセスにおけるノンプラズマクリーニング技術とその最適化

2014年4月24日(木) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、CVDプロセスの基礎から解説し、リアクタクリーニングの技術・プロセスについて詳解いたします。

ウェットエッチングの技術動向と、エッチング挙動およびそのコントロール

2013年7月29日(月) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ウエットエッチング技術を、固-液系不均一反応の基礎から解説いたします。

電解水の基本特性および精密洗浄への応用

2013年4月25日(木) 12時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、電解水の生成および基本特性から精密洗浄,表面処理への応用まで最新情報をふまえて解説いたします。

ロールtoロールのウェット/表面処理技術

2012年11月26日(月) 12時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、最新の有機EL照明用洗浄装置・技術を含め、ロールtoロール方式による、めっき・レジスト塗布・現像・エッチング・洗浄技術などについて解説いたします。

SiC基板のエッチング技術と平滑化

2012年5月31日(木) 12時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、SiCデバイスの高性能化に向けたエッチング、鏡面研磨技術について解説いたします。

最新プラズマエッチング技術

2012年3月19日(月) 11時00分16時30分
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本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最新技術まで網羅的に解説いたします。
情報が得にくい装置やダメージについても詳解いたします。

CVDリアクタのノンプラズマクリーニング技術

2011年12月13日(火) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、CVDプロセスの基礎から解説し、リアクタクリーニングの技術・プロセスについて整理する貴重なセミナーです。

ドライエッチングにおけるプロセス制御と形状制御

2011年10月31日(月) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から解説し、エッチングにおける劣化トラブルと抑制技術、プロセス制御によるCD安定化について解説いたします。

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