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MEMSのセミナー・研修・出版物

フィジカルAIに向けた触覚センシング・行動制御技術

2026年10月8日(木) 11時00分2026年10月18日(日) 16時00分
オンライン 開催

フィジカルAIに向けた触覚センシング・行動制御技術

2026年9月29日(火) 11時00分16時00分
オンライン 開催

小型・高機能触覚センサ技術の最新研究開発動向

2026年9月29日(火) 10時30分2026年10月6日(火) 16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、センサの検出原理や基礎技術から解説し、MEMS触覚センシングデバイスと、ロボットの把持制御・接触安全性、感性計測、医療・ヘルスケア分野への応用に至るまで、具体例を交えて詳細に解説いたします。

小型・高機能触覚センサ技術の最新研究開発動向

2026年9月25日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、センサの検出原理や基礎技術から解説し、MEMS触覚センシングデバイスと、ロボットの把持制御・接触安全性、感性計測、医療・ヘルスケア分野への応用に至るまで、具体例を交えて詳細に解説いたします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2026年7月16日(木) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、講師の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構について解説いたします。
また、最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2025年7月10日(木) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、講師の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構について解説いたします。
また、最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。

光デバイス向けMEMS加工技術の解説と応用事例

2025年6月11日(水) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、光デバイス適用に向けた加工プロセスの構築、微細加工技術について解説いたします。

ウェットエッチングの基礎と高精度化およびトラブル対策

2025年3月5日(水) 13時00分2025年3月7日(金) 17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチング加工の結晶異方性、表面粗さや具体的な形状作製、高機能化について詳解いたします。

ウェットエッチングの基礎と高精度化およびトラブル対策

2025年2月26日(水) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチング加工の結晶異方性、表面粗さや具体的な形状作製、高機能化について詳解いたします。

ウェットエッチングの基礎と高精度化およびトラブル対策

2024年11月22日(金) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチング加工の結晶異方性、表面粗さや具体的な形状作製、高機能化について詳解いたします。

MEMS技術入門講座 (1日目 / 基礎編)

2024年11月20日(水) 10時30分2024年11月22日(金) 16時30分
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MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

2024年11月20日(水) 10時30分2024年11月22日(金) 16時30分
2024年11月20日(水) 10時30分2024年11月22日(金) 16時30分
オンライン 開催

MEMS技術入門講座 (2日目 / 応用編)

2024年11月20日(水) 10時30分2024年11月22日(金) 16時30分
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MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

2024年11月7日(木) 10時30分16時30分
2024年11月8日(金) 10時30分16時30分
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メタマテリアル・メタサーフェスの基礎からテラヘルツ波の制御技術・応用展開

2024年8月30日(金) 13時00分15時00分
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本セミナーでは、近年注目されているメタマテリアル・メタサーフェスの基礎から応用展開を一貫して解説いたします。

MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

2024年8月2日(金) 10時30分2024年8月5日(月) 16時30分
2024年8月2日(金) 10時30分2024年8月5日(月) 16時30分
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MEMS技術入門講座 (2日目 / 応用編)

2024年8月2日(金) 10時30分2024年8月5日(月) 16時30分
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MEMS技術入門講座 (1日目 / 基礎編)

2024年8月2日(金) 10時30分2024年8月5日(月) 16時30分
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ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2024年7月25日(木) 13時00分17時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、講師の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構について解説いたします。
また、最新研究成果として3D-CoolALD (室温三次元成膜ALD) による各種酸化物膜の室温形成技術について解説いたします。

MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

2024年7月23日(火) 10時30分16時30分
2024年7月24日(水) 10時30分16時30分
オンライン 開催
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