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エッチングのセミナー・研修・出版物

半導体表面におけるウェットプロセスの基礎と最新動向

2021年6月11日(金) 10時30分16時30分
大阪府 開催 会場 開催

本セミナーでは、半導体表面におけるウェットプロセス、及び、関連する表面計測法について、基礎から先端研究事例までを解説・紹介いたします。

ウェットエッチングの基礎と形状コントロール及びトラブル対策とノウハウ

2021年5月28日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説いたします。
また、日頃の技術開発やトラブル相談に個別に応じます。

ウェットエッチングの基礎と形状コントロール及びトラブル対策

2021年5月14日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説いたします。
また、日頃の技術開発やトラブル相談に個別に応じます。

プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生メカニズムと制御

2021年4月28日(水) 13時00分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。

ウェットエッチングの基礎とコントロール及びトラブル対策

2021年3月5日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説いたします。
また、日頃の技術開発やトラブル相談に個別に応じます。

ウェットエッチングの基礎とノウハウおよびトラブル対策

2021年2月26日(金) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説いたします。
また、日頃の技術開発やトラブル相談に個別に応じます。

半導体表面におけるウェットプロセスの基礎と最新動向

2021年2月2日(火) 10時30分16時30分
大阪府 開催 会場 開催

本セミナーでは、半導体表面におけるウェットプロセス、及び、関連する表面計測法について、基礎から先端研究事例までを解説・紹介いたします。

半導体 (ドライ/ウェット) エッチングの基礎とプロセス制御・最新技術

2020年12月22日(火) 10時00分16時00分
オンライン 開催

本セミナーでは、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術、そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かりやすく解説いたします。

ウェットエッチングの基礎と最適化・トラブル対策

2020年11月26日(木) 10時30分16時30分
オンライン 開催

本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説いたします。
また、日頃の技術開発やトラブル相談に個別に応じます。

金属への化成処理・各種化成皮膜の析出機構とその機能

2020年11月17日(火) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場・オンライン 開催

本セミナーでは、金属の表面処理技術について、化成処理の反応メカニズム、皮膜の作用効果など基礎から分かりやすく解説いたします。

ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望

2020年11月16日(月) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場・オンライン 開催

本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。

金属への化成処理・各種化成皮膜の析出機構とその機能

2020年10月23日(金) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場・オンライン 開催

本セミナーでは、金属の表面処理技術について、化成処理の反応メカニズム、皮膜の作用効果など基礎から分かりやすく解説いたします。

金属への化成処理・各種化成皮膜の析出機構とその機能

2020年4月20日(月) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、金属の表面処理技術について、化成処理の反応メカニズム、皮膜の作用効果など基礎から分かりやすく解説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

2020年3月19日(木) 10時30分16時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2020年3月18日(水) 13時00分17時00分
2020年3月19日(木) 10時30分16時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

2019年10月3日(木) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御

2019年10月2日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2019年10月2日(水) 13時00分16時30分
2019年10月3日(木) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

金属への化成処理・各種化成皮膜の析出機構とその機能

2019年6月19日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、金属の表面処理技術について、化成処理の反応メカニズム、皮膜の作用効果など基礎から分かりやすく解説いたします。

プラズマエッチングの基礎から昨今の技術課題とプラズマ最適化設計について

2019年4月19日(金) 12時30分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)

2019年3月15日(金) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御

2019年3月14日(木) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)

2019年3月14日(木) 13時00分16時30分
2019年3月15日(金) 9時30分13時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生機構と制御

2018年10月31日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。

金属への化成処理・各種化成皮膜の析出機構とその機能

2018年8月22日(水) 13時00分16時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、金属の表面処理技術について、化成処理の反応メカニズム、皮膜の作用効果など基礎から分かりやすく解説いたします。

電子デバイス製造のための表面処理技術

2018年7月31日(火) 10時00分14時30分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、電子部品、半導体製造に使われる、電気めっき・無電解めっきとエッチングについて網羅的に解説いたします。

ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージおよびアトミックレイヤーエッチング (ALE)

2018年7月6日(金) 9時30分13時00分
東京都 開催 会場 開催

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (ALE) までを詳説いたします。

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