技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、ドライエッチングについて基礎から解説し、最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには超低温 (クライオ) エッチングを含む、3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説いたします。
半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきています。ロジックデバイスでは3nmノードからGAA (Gate ALL Around) 構造が採用され、また1.4nmノード以降の配線は、これまでのCuダマシンから、Ruなどの金属材料をエッチングして形成する方式に変わると予想されています。フラッシュメモリは3次元化され、既に200層以上の3D NANDが量産されています。また、10nmノード以降のデバイスでは原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング (ALE) が必要となってきています。半導体のスマートファクトリでは、装置自身が自己診断してメインテナンス時期を知ったり、プロセス条件のずれを修正するような、いわゆるインテリジェントツールが求められています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、ALEおよびインテリジエントツールについて分かりやすく解説します。
セミナーでは、最初に本講座を理解する上で必要とされるドライエッチングの基礎について解説します。次に最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。3D NANDのHARエッチングでは、最近話題になっている超低温 (クライオ) エッチングについても解説します。ALEに関しては最初に原理と特徴について解説し、次にALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスから量産適用が始まったSiO2のALEや、GAAや3D NANDのような3次元構造デバイスで必要とされる等方性ALEについて詳細に解説します。インテリジェントツールに関しては、チャンバーモニタリング、セルフメインテナンス、フィードフォワード/フィードバック制御やバーチャルメトロロジー (VM) を中心に解説します。
本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体装置メーカー、コンポーネントメーカー、材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/12/25 | ダイ塗布プロセスの欠陥メカニズム・課題と対策 | オンライン | |
2025/1/7 | 高品質スラリー調製のための分散技術とその安定化、評価方法 | オンライン | |
2025/1/8 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
2025/1/10 | 高機能化、高性能化のための表面処理法の基礎と表面分析法 | オンライン | |
2025/1/15 | スラリー中粒子の分散・凝集状態の制御に向けた評価技術 | オンライン | |
2025/1/17 | ぬれ性のメカニズムと測定・評価・利用法 | オンライン | |
2025/1/20 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
2025/1/20 | 大気圧プラズマの基礎と最新応用技術 | オンライン | |
2025/1/20 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
2025/1/20 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
2025/1/22 | ゾル-ゲル法の基礎と高機能性材料設計への応用・新展開 | オンライン | |
2025/1/23 | 粉体・微粒子の表面処理と機能性ナノコーティング技術 | 会場・オンライン | |
2025/1/24 | ぬれ性のメカニズムと測定・評価・利用法 | オンライン | |
2025/1/28 | めっきの基礎とプラスチックへのめっき技術 | オンライン | |
2025/1/28 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
2025/1/29 | 超親水化・超撥水化のメカニズムと評価および制御技術 | オンライン | |
2025/1/29 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
2025/1/30 | 高分子の接着性改善と表面処理、界面の構造評価技術 | オンライン | |
2025/2/5 | 超親水化・超撥水化のメカニズムと評価および制御技術 | オンライン | |
2025/2/5 | 粉体・微粒子の表面処理と機能性ナノコーティング技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |