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MEMSの基礎から応用、最新動向まで抑える入門講座 / MEMSの超微細化、3D構造化に向けたプロセス技術

MEMSの基礎から応用、最新動向まで抑える入門講座 / MEMSの超微細化、3D構造化に向けたプロセス技術

~MEMSに向けた微細構造形成、 加工プロセスの開発とその応用~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向について基礎から応用までを解説いたします。

開催日

  • 2023年7月11日(火) 10時30分 16時30分

プログラム

 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、マイクロマシンとも呼ばれ、微細な機械要素と電子回路等を複合し、センサ、アクチュエータ、バイオチップ等の様々な機能をもつマイクロ素子技術の総称です。 超小型で高機能の素子を基板上に一括作製することができ、急速に進歩して実用化が進んでいます。
 本講演では、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向などについて、馴染みのない方にもわかりやすく紹介します。

  1. MEMSの応用分野と基本プロセス
  2. 微細加工プロセスの解説
    • リソグラフィー
    • エッチング
  3. 薄膜堆積と応力制御、接合プロセスの解説
  4. MEMSの超微細化、3D構造化に向けたプロセス技術
  5. 封止技術、電気的な接続技術
  6. シリコンMEMS技術へのスマート素材薄膜の融合
    • 形状記憶
    • 磁歪合金等
  7. MEMS応用の最新動向の紹介
    • 質疑応答

講師

  • 峯田 貴
    山形大学 理工学研究科 機械システム工学分野
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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本セミナーは終了いたしました。