技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向について基礎から応用までを解説いたします。
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、マイクロマシンとも呼ばれ、微細な機械要素と電子回路等を複合し、センサ、アクチュエータ、バイオチップ等の様々な機能をもつマイクロ素子技術の総称です。 超小型で高機能の素子を基板上に一括作製することができ、急速に進歩して実用化が進んでいます。
本講演では、MEMSの概要、各プロセス技術、応用分野と動向などについて、馴染みのない方にもわかりやすく紹介します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/12/10 | 半導体機能素子製造向けドライプロセス入門 | オンライン | |
2024/12/10 | 半導体用レジストの特性および材料設計とその評価 | オンライン | |
2024/12/13 | レジストリソグラフィーの基礎と実用化ノウハウ | オンライン | |
2024/12/18 | 半導体用レジストの特性および材料設計とその評価 | オンライン | |
2024/12/19 | プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術とプラズマ耐性部材 | オンライン | |
2025/1/20 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
2025/2/20 | 半導体用レジストの基礎と材料設計および環境配慮型の新規レジスト除去技術 | オンライン | |
2025/3/5 | 半導体用レジストの基礎と材料設計および環境配慮型の新規レジスト除去技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2020/7/31 | 生体情報センシングと人の状態推定への応用 |
2020/4/30 | 生体情報計測による感情の可視化技術 |
2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
2017/7/27 | ウェアラブル機器の開発とマーケット・アプリケーション・法規制動向 |
2017/6/30 | 生体情報センシングとヘルスケアへの最新応用 |
2014/6/30 | マイクロセンサ 技術開発実態分析調査報告書(CD-ROM版) |
2009/4/22 | MEMSデバイス総論 【新装版】 |