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大気圧プラズマの生成制御と応用技術

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本書籍では、フィルム、金属、粉体表面改質、ディスプレイ・半導体洗浄、エッチング、有機・無機薄膜、バイオ処理など、大気圧プラズマの応用技術について網羅した大気圧プラズマ初の技術書籍です。

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