技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、大気圧プラズマの基礎から解説し、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理・殺菌・環境浄化など最先端の応用例を詳解いたします。
大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、ここ数年、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。
学術的にも、IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が、2010年には約25%までに激増しています。しかし、大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため、産業応用へのしきいが高いのも事実です。
そこで本講演では、大気圧プラズマの物理をわかりやすく解説するとともに、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理、殺菌、環境浄化等への最先端の応用例をご紹介します。
さらに、講師の最新の研究テーマである、ダメージフリープラズマ、マルチガスプラズマ、およびこれらを用いた高速表面処理法にスポットをあてて研究成果をご紹介します。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/12/6 | 大気圧プラズマの基礎と低炭素技術への応用 | オンライン | |
2024/12/10 | 半導体機能素子製造向けドライプロセス入門 | オンライン | |
2024/12/18 | 大気圧プラズマの基礎と低炭素技術への応用 | オンライン | |
2024/12/18 | 大気圧プラズマを用いたSi系機能薄膜の低温・高能率形成技術 | オンライン | |
2024/12/19 | プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術とプラズマ耐性部材 | オンライン | |
2025/1/20 | 大気圧プラズマの基礎と最新応用技術 | オンライン | |
2025/1/20 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
2025/2/28 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |
発行年月 | |
---|---|
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |