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大気圧プラズマの基礎と応用

大気圧プラズマの基礎と応用

~発生、計測、材料合成、環境応用~
東京都 開催 会場 開催

概要

本セミナーでは大気圧プラズマの発生・計測等に関する基礎を概説した後、大気圧プラズマをカーボンナノチューブ合成、ダイヤモンドライクカーボン合成、微粒子合成、天然ガス改質に応用した例を紹介いたします。

開催日

  • 2014年3月24日(月) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プラズマに関連する技術者、研究者
  • プラズマの応用に関連する技術者、研究者
    • 微粒子合成
    • 炭素薄膜合成
    • ガス処理 など

修得知識

  • 大気圧プラズマの基礎 (発生、評価方法)
  • 微粒子合成への応用
  • 炭素薄膜 (カーボンナノチューブ,DLC) 合成への応用
  • ガス処理への応用

プログラム

 プラズマ科学は、半導体産業が実質的な研究開発を牽引してきました。その基盤技術として、減圧環境で形成される反応性プラズマが発展しましたが、近年、大気圧以上の高密度媒体で形成される非平衡プラズマが大きな注目を集めています。大気圧プラズマの特徴は、高圧気体、超臨界流体、液体、粉体、生体など、プラズマを形成する媒体を選ばない高いフレキシビリティーにあります。大気圧プラズマを用いれば、プラズマが本来有する高い反応性を利用しつつ、省エネルギー、量産性、低コストに対応した革新的プロセス技術を創出することが可能となります。
 本セミナーでは大気圧プラズマの発生・計測等に関する基礎を概説した後、大気圧プラズマをカーボンナノチューブ合成、DLC (ダイヤモンドライクカーボン) 合成、微粒子合成、天然ガス改質に応用した例を紹介します。

  1. 大気圧プラズマの基礎
    1. 気体の絶縁破壊:パッシェンの法則 (相似則)
    2. 電子と分子の衝突過程
    3. 大気圧プラズマの特徴
    4. 大気圧プラズマが得意なこと、苦手なこと
  2. 大気圧プラズマの分類と特徴
    1. フィラメント状放電
      • 誘電体バリア放電
      • コロナ放電
      • グライディングアークなど
    2. グロー状放電
      • 大気圧グロー放電
      • プラズマジェット
      • マイクロプラズマ
  3. 簡単な大気圧プラズマのつくり方
    1. 直流電源を使ったコロナ放電
    2. 誘電体バリア放電
    3. マイクロプラズマジェット
  4. 大気圧プラズマの計測
    1. 電圧,電流,電力 (リサージュ図形を描く方法) の計測
    2. デジタルカメラを使った簡単なイメージング、ビデオ撮影
    3. 発光分光計測
    4. 大気圧プラズマ反応場の伝熱と温度計測
  5. 大気圧プラズマによるガス処理技術
    1. オゾン合成からはじまった大気圧プラズマの化学的利用
    2. 大気圧プラズマによるガス処理の基礎
    3. オゾンから環境応用,そしてエネルギー問題へ
    4. 天然ガス改質への応用 (水素生成など)
  6. 大気圧グロー放電の応用 (グロー状放電)
    1. カーボンナノチューブの合成
    2. DLC薄膜の合成
    3. 微粒子の合成
  7. プラズマ利用技術の課題、展望
    • 質疑応用・名刺交換

講師

  • 野崎 智洋
    東京工業大学 大学院 理工学研究科 機械物理工学専攻
    教授

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第1講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 39,900円 (税込)
複数名
: 31,000円 (税別) / 32,550円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名で参加の場合、1名につき 7,000円(税別) / 7,350円(税込) 割引
  • 3名で参加の場合、1名につき 10,000円(税別) / 10,500円(税込) 割引
  • 同一法人に限ります
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