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プラズマの生成と基材表面処理への応用

プラズマの生成と基材表面処理への応用

東京都 開催 会場 開催

概要

本セミナーでは、プラズマの基礎から解説し、低圧~大気圧までの各種プラズマ生成、表面処理、表面改質、評価方法について詳解いたします。

開催日

  • 2012年7月23日(月) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • プラズマに関連する技術者、開発者
    • 表面改質・表面処理
    • 微粒子生成
    • プラズマ装置 など

修得知識

  • プラズマの生成方法
  • プラズマによる表面処理技術
  • プラズマの各種応用技術

プログラム

 本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種基材の表面処理技術の基礎と応用、および評価法について、分かりやすく解説する。

  1. プラズマの生成と制御
    1. プラズマの基本的性質
    2. プラズマ生成技術 – 低圧力から大気圧まで –
  2. プラズマを用いた表面処理技術
    1. エッチング
    2. アッシング
    3. プラズマCVD
      • ダイヤモンドライクカーボン薄膜
      • カーボンナノチューブ
    4. プラズマ表面改質
      • 官能基修飾 (親水性、撥水性など)
      • 密着性 バイオ高分子の固定化
    5. プラズマ重合
  3. 低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
    1. マイクロ波プラズマについて
    2. マイクロ波プラズマ実験装置
    3. 表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
    4. 体積波プラズマを用いた表面プロセスの例
  4. 大気圧プラズマを用いた表面プロセス
    1. 大気圧放電プラズマについて
    2. 誘電体バリア放電
    3. 大気圧プラズマジェット
    4. 誘電体バリア放電を用いた表面プロセスの例
    5. 大気圧プラズマジェットを用いた表面プロセスの例
  5. 表面評価法と測定例
    1. XPS
    2. AFM
    3. SEM/TEM
    4. ラマン分光
    5. XRD
  6. まとめと今後の課題
    • 質疑応用・名刺交換

講師

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第1講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 40,000円 (税別) / 42,000円 (税込)
複数名
: 33,000円 (税別) / 34,650円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名で参加の場合、1名につき 7,350円割引
  • 3名で参加の場合、1名につき 10,500円割引 (同一法人に限ります)
本セミナーは終了いたしました。

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