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フォトレジストのセミナー・研修・出版物

フォトレジスト材料の評価

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本書では、感光性樹脂の評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく纏めております。

フォトレジスト 技術開発実態分析調査報告書

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本調査報告書は、フォトレジストに関するパテントマップ、パテントチャートを作成し、技術開発動向、最近の注目技術など具体的なデータを提供しております。

感光性樹脂の評価

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本書では、観光樹脂の評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく纏めております。

超微細パターニング技術 - 次世代のナノ・マイクロパターニングプロセス

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本書籍は、有機膜、インキ、レジスト、金属、ナノ粒子、CNT、セラミックス、ガラスなどに活用される超微細パターニング技術について網羅した技術書です。

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