技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本書では、観光樹脂の評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく纏めております。
2011年6月30日: 好評につき完売いたしました。
2012年3月5日: 改訂版として フォトレジスト材料の評価 が発刊されました。
感光性樹脂の開発は特許性が高いために、感光性樹脂には標準的な評価基準は無く、各社独自の評価方法が採用されています。
一般的には、樹脂に感光剤を配合し、基板に塗布、露光後、現像し、得られたパターンをSEMで観察する方法が用いられています。この方法を直接評価法といい、評価方法としては絶対的であると言えます。しかし、高額な露光装置や走査電子顕微鏡を必要とすることから、新たな感光性樹脂・材料の試作・開発や一時的な評価には向かない面もあります。
これに対し、現像速度データからシミュレータを用いて現像後のパターン形状を予測し、リソグラフィ特性の評価を行う間接評価法をリソテックジャパンでは開発・提案しています。この手法は一般的な形状シミュレーションと違い、実際のレジストの現像速度データを用いることを特徴し、より現実的なシミュレーションと言えるでしょう。
本書では、当評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく述べています。
感光性樹脂の研究開発、評価、プロセスアプリケーション、製造、品質保証の業務にかかわる多くに人々の参考書、また、ビギナーの人々のテキストとしてご活用いただければ、大変幸いです。
(「はじめに」より抜粋。一部変更)
リソグラフィー技術とは何か? リソグラフィーの基礎について解説しています。
感光性樹脂の評価は基板に樹脂を塗布することろから始まります。塗布装置、塗布方法の概説と、塗布プロセスについて解説します。
塗布の後は、露光です。露光技術の概要と露光装置の解説を行います。
また、感光パラメータの測定方法についても触れています。
露光の後の露光後ベーク (PEB) の効果について解説します。
PEBにおける感光剤の拡散距離、表面難溶化効果の定量方法についても紹介します。
露光後ベークの後は、感光性樹脂の現像を行います。
現像装置、現像方法の概説をします。
また、現像中の樹脂の膨潤量の測定方法についても紹介します。
リソグラフィー・シミュレータを用いた感光性樹脂の評価方法をご紹介します。
また、リソグラフィー・シミュレーション技術を用いることで、どのような評価が可能なのかを分かり易く解説します。
FT-IRを用いた光反応解析の手法について解説します。
特に、化学増幅レジストの脱保護反応や、光酸発生剤からの酸の発生反応の解析方法について述べます。
感光性樹脂 (レジスト) からの露光中のアウトガスの定量方法について述べます。
また、液浸露光中のレジストからのリーチング物質の評価・分析方法についても触れています。
近年、注目される感光性ナノインプリント材料の評価、プロセスの最適化技術について述べます。
また、実際のデバイスパターン製作事例もご紹介します。
最後の章は、最近採用の増えた、DR法による感光性樹脂の品質管理方法について述べています。
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