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プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術とプラズマ耐性部材

プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術とプラズマ耐性部材

~パーティクル対策、プロセス異常モニタリング、部材の腐食・プラズマ耐性評価 etc.~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、レガシーファブの量産ラインの前工程において装置稼働率や歩留まりの向上に必要となる製造技術について扱います。
前工程の中でも特に収益性に関わりが大きいプラズマプロセスであるプラズマエッチングプロセス及び装置に必要となる技術について、不良発生の抑止や予知保全、メンテナンス費用削減、装置機差の低減等に資する技術について解説いたします。

開催日

  • 2024年12月19日(木) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 半導体製造工程におけるプラズマプロセス技術に携わっている方

修得知識

  • プラズマエッチングプロセスにおける異常検出
  • プロセスモニタリング手法
    • パーティクル検出
    • 異常放電検出
    • プロセスチャンバー状態診断 等
  • プラズマプロセス装置チャンバー内部品部材のプラズマ耐性評価

プログラム

 現在、半導体は産業上の一部品としてではなく、経済安全保障にも関わる極めて重要な「特定重要物資」として取り扱われています。半導体製造技術の最先端では2nm、更にはより以細な製造技術の研究開発も進められています。その一方、我が国の半導体産業の特長の一つは、車載用マイコンやセンサ用半導体、パワー半導体を始めとして最先端の微細製造技術を必ずしも必要としない半導体デバイスに競争力を有することです。
 本セミナーでは、後者の製造を多く担う、いわゆるレガシーファブの量産ラインの前工程において、装置稼働率や歩留まりの向上に必要となる製造技術について紹介します。前工程の中でも、特に収益性に関わりが大きいプラズマエッチングプロセス及びその装置に関し、不良発生の抑止や予知保全、メンテナンス費用削減、装置機差の低減等に資する技術について解説します。

  1. はじめに
    1. 半導体を取り巻く情勢、半導体産業界の動向
    2. 半導体の製造工程とプラズマプロセス
    3. 量産ラインにおけるプラズマプロセスの課題
    4. 半導体製造効率と歩留まり
    5. プラズマエッチングプロセス
  2. プラズマエッチングプロセスにおけるパーティクルの課題
    1. パーティクル対策の必要性
    2. パーティクルのその場検出手法
    3. パーティクルの発生メカニズム
  3. プラズマプロセスにおける異常モニタリング・検出技術
    1. プロセス異常モニタリング
    2. 異常放電
    3. 各種モニタリング・検出手法
      • アコースティックエミッション手法
      • プラズマインピーダンスモニタリング手法等
  4. プラズマ耐性材料とその評価技術
    1. プロセスチャンバー用部品部材の腐食とパーティクル発生
    2. 高プラズマ耐性材料
    3. チャンバー部品部材のプラズマ耐性評価手法 (セラミックス部材を例として)

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
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本セミナーは終了いたしました。

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