技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、半導体機能素子の製造技術に使用されている「ドライプロセス・装置」および「真空・プラズマ技術」について基礎から解説いたします。
特に真空蒸着、スパッタリング、CVD、ALDによる成膜技術および薄膜を微細加工するドライエッチング技術を解説いたします。
合わせて、ドライプロセスの基盤となっている真空・プラズマ技術に関して解説いたします。
シリコン半導体集積回路素子、フラットパネルディスプレイ、固体撮像素子や発光ダイオードなどの半導体機能素子によって私たちの生活は飛躍的に豊かになりました。これらの素子はドライプロセスを利用した薄膜形成技術によって製造されています。昨今、リスクマネジメントの観点から、これらの機能素子の製造を国内回帰する動きが強まっていて、改めて薄膜形成技術に関する期待が高まっています。
今回、この需要に応えるため半導体機能素子の製造技術として特に注目されている 「CVD および ALD法による薄膜形成のプロセスおよび装置の設計」に関して解説します。「CVD および ALD 装置」は化学反応を利用した反応容器です。これらのプロセスおよび装置の設計には化学反応速度論を駆使した化学反応設計が必須です。今回は特に成膜過程に必要な化学反応速度論の基礎から、実際の応用例を紹介します。
また、CVD および ALD では種々の化学物質を取り扱います。これらの化学物質を取り扱う上での注意点として危険性と安全設計の基礎を解説します。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/5/28 | 大気圧プラズマによる表面改質と界面評価 | オンライン | |
| 2025/5/30 | CVD/ALDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
| 2025/6/10 | CVD/ALDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
| 2025/6/10 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2025/6/11 | 光デバイス向けMEMS加工技術の解説と応用事例 | オンライン | |
| 2025/6/11 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/12 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
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| 2025/6/16 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2025/6/17 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2025/6/19 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
| 2025/6/23 | プラズマエッチングの基礎、ダメージ・不良の低減と異常の検出・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/25 | グラフェン系材料の基礎、高機能化技術及び応用への展開 | オンライン | |
| 2025/6/26 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
| 2025/6/26 | ALDプロセスの基礎と原料の分子設計・開発および成膜の最新技術 | オンライン | |
| 2025/6/26 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/26 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
| 2025/6/27 | 真空技術の基礎と正しい真空システムの設計 & 活用法 | オンライン | |
| 2025/6/30 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2025/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |