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薄膜分析・評価の基礎知識とナノテクノロジーへの応用
薄膜分析・評価の基礎知識とナノテクノロジーへの応用
東京都 開催
会場 開催
本セミナーは終了いたしました。
概要
本セミナーでは、電子物性・光物性の基礎物理など、薄膜分析・評価の基礎から様々な表面・界面評価技術について取り上げ、例示を交えて解説いたします。
開催日
- 2020年3月31日(火) 12時30分 ～ 16時30分
受講対象者
- 表面に係る製造業務、評価業務に携わる技術者、これから携わる方
- 薄膜プロセス
- 半導体プロセス
- コーティング
- 表面改質 など
修得知識
- 表面の評価技術の基礎
- 表面に関わるトラブルシューティング
- 表面の評価手段の適切な選択
- 様々な評価手段の基礎原理 (光・電子物性・光物性)
- 表面評価手段により得られた評価結果を正しく判断することが出来る
プログラム
LEDやトランジスタなど、物質表面や界面の電子・光物性を活用したデバイス開発の歴史において、薄膜評価技術は、デバイスの高効率化・トラブルシューティング・新機能提案などにつながる重要な発見を助けてきた。表面改質など機械加工分野も併せれば、表面・界面の評価技術は、製造技術における課題発見の場面で重要視され、産業界で広く用いられている。一方、表面・界面評価技術は手法が非常に多岐にわたるため、どの評価手法を選択すれば、現在直面している課題解決につながるのか?という問いに対し、先輩の熟達した技術者や外部の技術支援を得ることに頼らざるを得ない現状があるように思う。表面・界面評価技術においては、検出原理を知ることで何を測ることができ、検出限界を知ることで何が測ることができないかを理解することは、どの評価技術を選択すべきか決断する際に非常に重要となる。
本セミナーでは、表面・界面のトラブルや改善、新機能提案を目指し、表面・界面の評価技術全般に関わる、電子物性・光物性の基礎物理を講義したのち、これら基礎物理を利用した、様々な表面・界面評価技術について、例示して解説する。
- 電子物性基礎: 物質の電気的性質
- 電子の性質
- 結晶構造
- バンド構造
- 導体・半導体・絶縁体の電気的性質
- 光物性基礎: 物質の光学的性質 (透過・散乱・吸収)
- 光の性質
- 弾性散乱、非弾性散乱
- ブラッグ回折
- 薄膜・界面評価技術
- 光学的評価法
- UV/VIS分光
- IR分光
- ラマン分光
- PL
- X線回折法 (XRD) 、X線反射率法 (XRR)
- X線光電子分光法
- XPS
- ESCA
- 走査型電子顕微鏡
- SEM
- EDX
- プローブ顕微鏡
- AFM
- STM
- その他分析技術やナノテクノロジーへの展開事例紹介
- 光学的評価法
会場
主催
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。
受講料
1名様
:
45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
:
22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)
(案内をご希望の場合に限ります)
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
アカデミック割引
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の学生に限ります。
教職員や研究員、企業に在籍されている学生には適用されません。
また、当日学生証をご持参ください。
本セミナーは終了いたしました。
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