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圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

~各種薄膜材料と成膜技術、評価技術、最新動向~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、振動発電について取り上げ、材料開発から素子作製技術、応用事例まで最新動向を詳解いたします。

開催日

  • 2023年2月17日(金) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • 圧電MEMSデバイスの応用が考えられる製品の技術者
    • 自動車
    • 電子機器
    • 機械
    • エネルギー
    • 電子部品
    • 携帯電話 など
  • 圧電MEMSデバイスに関連する技術者
  • 圧電MEMSデバイスで課題を抱えている方

修得知識

  • 圧電薄膜の材料評価
  • 圧電薄膜の成膜
  • 圧電薄膜の測定技術

プログラム

 PZT薄膜を中心とした圧電薄膜のMEMSデバイス応用の研究開発が活発化している。圧電MEMSの特徴的な基本技術は、圧電薄膜材料、薄膜化、および圧電評価技術である。
 本講演では、これらの技術について解説するとともに、将来のデバイス開発を目的とした研究例を紹介する。

  1. 圧電MEMSの特徴および応用例
    1. MEMS技術の中における圧電MEMS
    2. 圧電MEMSデバイスの応用例
  2. 圧電薄膜材料とその成膜技術
    1. 圧電材料
    2. PZT材料
    3. 非鉛圧電材料
    4. 薄膜化技術
    5. スパッタ法
    6. ゾルゲル法
  3. 圧電薄膜の評価技術
    1. 結晶構造評価
    2. 誘電特性・強誘電特性
    3. 信頼性評価
    4. 圧電定数の定義
    5. 圧電特性測定技術
    6. ユニモルフ構造の力学
    7. 逆圧電定数および正圧電定数の測定
  4. 最近の研究動向
  5. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 神野 伊策
    神戸大学 大学院 工学研究科 機械工学専攻 センシングデバイス工学分野
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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