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MEMS技術入門講座 (2日目 / 応用編)

MEMS技術入門講座 (2日目 / 応用編)

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    • アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年7月25日〜8月5日を予定しております。
    アーカイブ配信のお申し込みは2024年8月2日まで承ります。

    関連するセミナーとの同時申し込みはこちらから承ります。

    開催日

    • 2024年7月24日(水) 10時30分 ～ 16時30分

    受講対象者

    • MEMS の応用分野の技術者、研究者、管理者、企画担当者
      • 自動車・家電の応用分野
      • 情報・通信の応用分野
      • 製造・検査の応用分野
      • 医学・バイオの応用分野
      • 他、MEMSビジネス関連

    修得知識

    • MEMS技術の基礎
    • MEMS技術の応用技術
    • MEMS技術の最新動向

    プログラム

    　半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。
    　このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。
    　本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。

    1日目 MEMS技術入門講座: 基礎編

    (20204年7月23日 10:30〜16:30)

    1. MEMSの使われ方
      1. 概論
      2. 自動車・スマートホンなどで使われる (量産) MEMS
      3. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる (量産・高付加価値) MEMS
      4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる (高付加価値) MEMS
    2. 基本プロセス
      1. 基本プロセス1
        • パターニング
        • エッチング
      2. 基本プロセス2
        • 堆積と応力制御
        • 接合
      • 質疑応答

    2日目 MEMS技術入門講座: 応用編

    (2024年7月24日 10:30〜16:30)

    1. 組合せプロセス
      1. 組合せプロセス1
        • バルクマイクロマシニング
        • 表面マイクロマシニング
        • ナノマシニング
      2. 組合せプロセス2
        • ウェハ転写とヘテロ集積化
        • 電気的接続
        • パッケージングと真空封止
    2. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
      1. ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
      2. MEMSの要素
        • センサ
        • アクチュエータ
        • エネルギ源
      3. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他
      • 質疑応答
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    講師

    • 江刺 正喜 氏
      東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC)
      センター長 / 教授
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    主催

    株式会社 R&D支援センター
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    お問い合わせ

    本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
    (主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

    受講料

    1名様
    : 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
    複数名
    : 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

    案内割引・複数名同時申込割引について

    R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
    案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

    「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

    • R&D支援センターからの案内を希望する方
      • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
      • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
      • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
    • R&D支援センターからの案内を希望しない方
      • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
      • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
      • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

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