技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、講師の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構について解説いたします。
吸着反応機構、表面酸化、モニタリング技術、プロセス調整について詳解いたします。
原子層堆積法は、金属酸化物薄膜を複雑形状にもコンフォーマルで形成できることから、LSI製造に利用されています。近年では、LSIのみならず、MEMS、太陽電池、機械部品、PETボトルへのコーティングにも活用が検討されています。
原子層堆積での高品質膜の達成のため、表面反応を中心とした反応機構の理解と、モニタリング、そして適切な材料選択、プロセス調整の知識が欠かせません。山形大学ではこれまで原子層堆積法のその場観察と低温化研究を進めてまいりましたが、我々の研究成果を題材に、原子層堆積法の特に表面反応を中心とした機構理解の達成を目標とします。さらに最新研究成果として各種酸化物膜の室温形成技術について紹介いたします。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2025/3/17 | 高分子劣化のメカニズムと添加剤による対策や材料分析技術 | オンライン | |
2025/3/17 | 超親水化・超撥水化のメカニズムと評価および制御技術 | オンライン | |
2025/3/17 | 塗工における欠陥トラブル対策とAIによる最新の異常検知技術 | オンライン | |
2025/3/18 | 半導体デバイスで良品を作るためのクリーン化技術 | オンライン | |
2025/3/18 | 半導体パッケージ技術の最新動向 | オンライン | |
2025/3/21 | 高分子劣化のメカニズムと添加剤による対策や材料分析技術 | オンライン | |
2025/3/21 | 濡れ現象の基礎と計測 | オンライン | |
2025/3/24 | 半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化・歩留向上技術および洗浄・乾燥技術 (2コースセット) | 東京都 | 会場・オンライン |
2025/3/24 | 半導体製造ラインのウェーハ表面洗浄・乾燥および汚染除去技術の基礎から最新動向まで | 東京都 | 会場・オンライン |
2025/3/24 | コールドスプレーの原理・メカニズムと応用事例 | オンライン | |
2025/3/24 | 表面処理・分析/接着分析 2日間講座 | オンライン | |
2025/3/24 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
2025/3/24 | セラミックスの成形プロセス技術 | オンライン | |
2025/3/24 | めっきの基礎および処理方法とトラブル対策 | オンライン | |
2025/3/25 | 次世代半導体パッケージおよび実装技術動向と市場展望 | 東京都 | オンライン |
2025/3/26 | (ナノ) カーボン材料の分散制御と「マイクロ波による複合化」などの各種技術、その評価 | オンライン | |
2025/3/26 | 超親水化・超撥水化のメカニズムと評価および制御技術 | オンライン | |
2025/3/26 | 塗布膜の設計・形成と欠陥防止、機能性付与技術 | オンライン | |
2025/3/26 | 次世代パワー半導体とパワーデバイスの結晶欠陥評価技術 | オンライン | |
2025/3/26 | 塗工における欠陥トラブル対策とAIによる最新の異常検知技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2024/9/13 | 世界のAIデータセンターを支える材料・デバイス 最新業界レポート |
2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
2024/6/19 | 半導体・磁性体・電池の固/固界面制御と接合・積層技術 |
2024/4/30 | 次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術 |
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
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2022/11/29 | 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2022/6/17 | 2022年版 電子部品市場・技術の実態と将来展望 |
2022/6/13 | パワー半導体〔2022年版〕 (CD-ROM版) |
2022/6/13 | パワー半導体〔2022年版〕 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/11/12 | レジスト材料の基礎とプロセス最適化 |
2021/6/18 | 2021年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望 |