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半導体ウェット洗浄技術の基礎と乾燥技術および最先端技術

半導体ウェット洗浄技術の基礎と乾燥技術および最先端技術

~半導体洗浄装置 / 異物の除去・付着抑制 / 洗浄の技術トレンド / 乾燥の技術トレンド / 次世代半導体の洗浄課題 / 最先端洗浄・乾燥技術~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、先端半導体で要求される洗浄技術・乾燥技術について取り上げ、洗浄技術・乾燥技術の基礎、課題と対策について解説いたします。

開催日

  • 2024年8月23日(金) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • 半導体の洗浄技術に関心のある方

修得知識

  • 半導体製造における洗浄の役割
  • 半導体製造における洗浄の基礎
  • 半導体ウェット洗浄に使用される装置・薬液種類・洗浄の原理
  • 先端半導体に要求される洗浄技術の課題
  • 最新の半導体洗浄技術

プログラム

 半導体製造において、品質/歩留まりを向上するために洗浄は欠かすことができない工程です。その洗浄技術の基礎から先端半導体向け最新技術までを本セミナーで解説します。
 まずは半導体洗浄の装置種類や薬液種類に関する基礎的な内容を詳しく説明します。これにより、洗浄対象物や洗浄原理が理解できます。その後、次世代半導体の構造や材料の変化に伴う洗浄課題に触れていきます。最先端の半導体の洗浄が従来の半導体洗浄に比べ難易度が高い理由について解説します。また洗浄後は、濡れたウエハ表面をデバイスに悪影響なく乾かす必要があるため、乾燥も重要なプロセスです。
 本セミナーでは、「洗浄」だけでなく「乾燥」にも焦点を当て、基礎から最新にわたる技術トレンドを紹介します。

  1. 半導体ウェット洗浄の必要性
    1. 半導体製造フローと洗浄の位置づけ
    2. 洗浄装置の役割
    3. 洗浄の除去対象
  2. 半導体ウェット洗浄の方法/原理
    1. 洗浄装置の種類
    2. 異物の除去
      1. パーティクル除去の種類
      2. 洗浄薬液の種類
      3. 洗浄原理
    3. 異物の付着抑制
  3. 洗浄の技術トレンド
    1. 洗浄と半導体の歴史
    2. 従来の洗浄技術
      1. スプレー洗浄
  4. 乾燥の技術トレンド
    1. 乾燥と半導体の歴史
    2. 従来の乾燥技術
      1. IPA乾燥
      2. 表面改質
  5. 次世代半導体の洗浄課題
    1. 半導体デバイスのトレンド
    2. 洗浄の技術的課題
      1. ロジックデバイス
      2. メモリデバイス
      3. 貼り合わせウエハ
    3. 洗浄装置に求められる機能
  6. 先端洗浄・乾燥技術
    1. 最新の洗浄技術
      1. 固化洗浄
      2. 狭所洗浄
      3. 選択エッチング
    2. 最新の乾燥技術
      1. 昇華乾燥
      2. 構造観察手法
  7. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 岩畑 翔太
    株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ 洗浄開発統轄部 開発戦略部 開発戦略課
    プロセス戦略リーダー

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 32,400円 (税別) / 35,640円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

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