技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、第1部で各種の薄膜作成の基礎を概説、第2部でALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、第3部ではALDプロセスの理想と 実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/10/2 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |
| 2026/10/6 | 薄膜の剥離・破壊のメカニズムと密着性の評価・解析および改善の手法 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/10/7 | シランカップリング剤の基礎、界面構造制御と機能材料への応用 | オンライン | |
| 2026/10/9 | シランカップリング剤の基礎、界面構造制御と機能材料への応用 | オンライン | |
| 2026/10/9 | 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年秋版) | オンライン | |
| 2026/10/15 | メタオプティクス・メタサーフェス・メタレンズの基礎から設計・解析、製造・評価、応用展開 | オンライン | |
| 2026/10/16 | シランカップリング剤の分析技術 | オンライン | |
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| 2026/10/19 | ぬれの基礎と実用的な撥水・撥油/親水処理技術の最新研究開発動向 | オンライン | |
| 2026/10/22 | Roll To Roll塗工製品製造における乾燥技術のコツとツボ | オンライン | |
| 2026/10/23 | 機械設計のための「機械の基礎」総ざらい | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/10/27 | シランカップリング剤の分析技術 | オンライン | |
| 2026/10/27 | 製造現場における画像処理AIの活用と内製化のポイント | オンライン | |
| 2026/10/28 | 製造現場における画像処理AIの活用と内製化のポイント | オンライン | |
| 2026/10/28 | 材料表面への (超) 撥水性・ (超) 親水性の付与技術と制御および分析・評価、応用技術 | オンライン | |
| 2026/10/29 | ガラス接着技術の基礎と表面処理、応用展開 | オンライン | |
| 2026/10/30 | ポリウレタン系コーティング材料の構造・物性と選定・塗膜形成のポイント | オンライン | |
| 2026/11/2 | ポリウレタン系コーティング材料の構造・物性と選定・塗膜形成のポイント | オンライン | |
| 2026/11/5 | 先端半導体デバイスの多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化 (2日間セミナー) | オンライン | |
| 2026/11/5 | 微細Cu配線・Low‐k/Air-Gap材料・Post-Cu材料に見る先端多層配線技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |