技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、第1部で各種の薄膜作成の基礎を概説、第2部でALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、第3部ではALDプロセスの理想と 実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/12/23 | ハードコート剤の開発、材料設計、調製、特性評価、高機能化、応用展開 | オンライン | |
| 2024/12/25 | ダイ塗布プロセスの欠陥メカニズム・課題と対策 | オンライン | |
| 2025/1/7 | 高品質スラリー調製のための分散技術とその安定化、評価方法 | オンライン | |
| 2025/1/8 | 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 | オンライン | |
| 2025/1/10 | 高機能化、高性能化のための表面処理法の基礎と表面分析法 | オンライン | |
| 2025/1/15 | スラリー中粒子の分散・凝集状態の制御に向けた評価技術 | オンライン | |
| 2025/1/17 | ぬれ性のメカニズムと測定・評価・利用法 | オンライン | |
| 2025/1/20 | 大気圧プラズマの基礎と最新応用技術 | オンライン | |
| 2025/1/20 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン | |
| 2025/1/20 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
| 2025/1/22 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
| 2025/1/22 | ゾル-ゲル法の基礎と高機能性材料設計への応用・新展開 | オンライン | |
| 2025/1/23 | 粉体・微粒子の表面処理と機能性ナノコーティング技術 | 会場・オンライン | |
| 2025/1/24 | ぬれ性のメカニズムと測定・評価・利用法 | オンライン | |
| 2025/1/28 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
| 2025/1/28 | めっきの基礎とプラスチックへのめっき技術 | オンライン | |
| 2025/1/28 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
| 2025/1/29 | 薄膜作製の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/1/29 | 超親水化・超撥水化のメカニズムと評価および制御技術 | オンライン | |
| 2025/1/29 | 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
| 2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |