フォトレジスト - セミナー・研修・出版物

フォトレジストのセミナー・研修・出版物

2013年2月19日(火) 13時00分～ 16時00分

東京都開催会場開催

2012年12月17日(月) 10時30分～ 16時30分

東京都開催会場開催

本セミナーでは、バーチャル・リソグラフィ評価方法の解説を中心に、リソグラフィの工程に沿って、リソグラフィの基礎から、最新のフォトレジスト材料の評価方法について解説いたします。

2011年10月7日(金) 10時30分～ 16時30分

大阪府開催会場開催

本セミナーでは、ナノインプリント技術の基礎から解説し、光ナノインプリントの原理から高スループット化・高機能化に向けた要素プロセス・材料・最近の応用事例について詳解いたします。

本書では、感光性樹脂の評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく纏めております。

本調査報告書は、フォトレジストに関するパテントマップ、パテントチャートを作成し、技術開発動向、最近の注目技術など具体的なデータを提供しております。

本書では、観光樹脂の評価方法の解説を中心に、リソグラフィーの工程に沿って、リソグラフィーの基礎から、感光性樹脂の品質管理まで、感光性樹脂の評価方法全般について、一般には公表されにくい実測データを用いてわかりやすく纏めております。

本書籍は、有機膜、インキ、レジスト、金属、ナノ粒子、CNT、セラミックス、ガラスなどに活用される超微細パターニング技術について網羅した技術書です。