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フォトポリマーの設計と高感度化

フォトポリマーの設計と高感度化

~微細化に対応するレジスト材の要求特性と感光性材料の設計~
東京都 開催 会場 開催

開催日

  • 2020年2月6日(木) 10時00分 17時00分

受講対象者

  • 紫外線硬化樹脂に関連する技術者、開発者、研究者
    • ナノインプリント
    • 電子部品・光学部品などの接着・乾燥
    • 印刷インキの乾燥
    • 塗料・塗装コーティング剤の乾燥・硬化
    • 光ファイバ等の保護コーティング
    • 光造形
    • 3Dプリンター
    • ジェルネイル等の装飾品 など
  • 紫外線硬化樹脂の初心者、これからUV硬化性樹脂の開発に携わる方
  • 紫外線硬化処理で課題を抱えている方

プログラム

第1部 光酸発生剤・光カチオン開始剤および光塩基発生剤の特長と使い方

(2020年2月6日 10:00〜12:00)

 光酸発生剤・光カチオン開始剤および光塩基発生剤に関して、本稿では一般的な物性の他、使い方や機能面での優位性、取扱い上の留意点などについて、弊社製品での事例を踏まえて解説いたします。

  1. フォトポリマーとは
  2. 光酸発生剤・カチオン開始剤
    1. オニウム塩全般について
    2. それぞれの特色と応用例
  3. 光塩基発生剤
    1. 光塩基発生剤とアニオン硬化
    2. イオン型PBGによるUVアニオン硬化
    3. 応用事例
    4. 非イオン型PBG
    • 質疑応答

第2部 フォトポリマーの材料設計、プロセスの留意点

(2020年2月6日 12:50〜14:50)

 LSIや実装の製造で用いられる感光性材料について、用いられている光化学反応の種類は意外と少ないことを述べる。次いで感光性材料が用いられる意義など、開発している人が陥りやすい勘違いや注意点について疑問形式で考える。
 感光性材料を用いる際の塗布、露光、現像などのプロセスに沿ってそれら課題について考察しながら、感光性材料開発のポイントを述べる。

  1. はじめに
  2. 感光性材料の種類
  3. 感光性材料開発での留意点
    1. 光を用いる理由
    2. 露光装置と光吸収
    3. 光吸収と光化学反応、Lambert – Beer則
    4. 感光性材料内での反応 (固体内反応)
    5. 現像プロセスの重要性
    6. 感度測定留意点
    7. 解像性を決める要因
    • 質疑応答

第3部 リソグラフィ技術の展望とレジスト材料への要求特性、課題

(2020年2月6日 15:00〜17:00)

 メモリー、マイクロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっており、5nmロジックノードも近づいています。
 本講演では、これらの半導体の微細化を支えるリソグラフィ技術の展望、および、レジスト材料への要求特性、課題について、基礎から最新の動向を解説します。

  1. リソグラフィ技術の展望
    1. 露光
    2. 照明方法
    3. マスク
    4. レジストプロセス
    5. ロードマップ
  2. レジスト材料への要求特性、課題
    1. 溶解阻害型レジスト
      1. g線レジスト
      2. i線レジスト
    2. 化学増幅型レジスト
      1. KrFレジスト
      2. ArFレジスト
      3. ArF液浸レジスト
    3. EUVレジスト
    • 質疑応答

講師

  • 高橋 昌弘
    富士フイルム和光純薬 株式会社 ケミカル開発本部 機能性材料研究所
    主任研究員
  • 上野 巧
    信州大学 繊維学部 ファイバーイノベーション・インキュベーター施設
    特任教授
  • 遠藤 政孝
    大阪大学 産業科学研究所
    招聘教授

会場

株式会社 技術情報協会
東京都 品川区 西五反田2-29-5 日幸五反田ビル8F
株式会社 技術情報協会の地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 60,000円 (税別) / 66,000円 (税込)
複数名
: 55,000円 (税別) / 60,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 55,000円(税別) / 60,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 110,000円(税別) / 121,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 165,000円(税別) / 181,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。

本セミナーは終了いたしました。

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