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EUVリソグラフィ最新概論 EUVL 用材料・技術の進化と半導体製造の動向および展望

Zoomを使ったライブ配信セミナー

EUVリソグラフィ最新概論 EUVL 用材料・技術の進化と半導体製造の動向および展望

~AI・5G時代を支える極端紫外線露光技術~
オンライン 開催

概要

5GやAI対応で益々の高速・大容量・低電力・軽量・小型可が求められる半導体にEUVLが活用され始めております。
iPhone12を筆頭にEUVLを用いた製品も市場に続々と登場しており、本セミナーでは、EUVLの基礎と、EUVL導入の効果について解説いたします。

開催日

  • 2020年12月21日(月) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 極端紫外線リソグラフィ EUVL に関連する技術者、開発者、研究者
    • 半導体
    • プリント基板
    • 印刷版
    • 液晶ディスプレイパネル
    • プラズマディスプレイパネル
    • 光源 など

プログラム

 Covid-19と米中貿易摩擦の煽りを受け、世の中全体に不景気感が広がっているが、iPhone 12の登場は本格的な5G世代の幕開けを宣言するに十分な効果をもたらした。とくに、AI対応での高速・大容量・低電力に加え、軽量・小型の実現には極端紫外線露光技術の寄与が大きい。ようやく、半導体素子の量産に使われ始めた本技術について詳述する。

  1. 半導体製造の現状
    1. 微細化の効果
    2. EUVLの概要と導入の効果
    3. EUVL導入例
    4. 微細化の将来
  2. 極端紫外線露光の概要と歴史
  3. 個別技術の進展
    1. 光源開発
      1. 要求性能
      2. LPP光源の現状と課題
    2. 多層膜技術
      1. 多層膜の概要と設計法
      2. 多層膜の成膜技術
      3. 多層膜の評価
    3. 反射光学系
      1. 反射光学系の要求条件
      2. 反射光学系の設計法
      3. ミラーの加工法と評価
      4. ミラー光学系の合わせ法
    4. 反射型マスク技術
      1. 反射型マスクの要求条件
      2. マスクの構造と製作法
      3. マスク検査技術
    5. EUVレジスト
      1. EUVレジストの要求条件
      2. レジストの現状
    6. ペリクル技術
  4. 次期システム・高NA機の開発概要
  5. 今後の課題
    • 質疑応答

講師

  • 木下 博雄
    兵庫県立大学 産学連携・研究推進機構
    副機構長 / 特任教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 ミーティングテスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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