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リソグラフィの基礎、半導体製造におけるレジスト材料技術と今後の展望

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リソグラフィの基礎、半導体製造におけるレジスト材料技術と今後の展望

～リソグラフィ、レジスト材料技術のすべて～
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概要

本セミナーでは、最新の学会発表、論文、特許、業界動向等に基づき、レジスト・微細加工用材料の現状・動向と要求特性、今後の展望について解説いたします。

開催日

  • 2020年10月9日(金) 10時30分 ～ 16時30分

修得知識

  • リソグラフィの基礎知識・最新技術
  • レジスト材料の基礎知識
  • レジスト材料の要求特性
  • レジスト材料の課題と対策
  • レジスト材料の最新技術・ビジネス動向

プログラム

　メモリー、マイクロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっており、5nmロジックノードも近づいている。
　本講演では、半導体の微細化を支えるリソグラフィの基礎・最新技術、および、レジスト材料の基礎と、最新のロードマップに基づいたレジスト材料の要求特性、課題と対策、最新技術・動向を解説し、今後の展望、市場動向についてまとめる。

  1. リソグラフィの基礎
    1. 露光
      1. コンタクト露光
      2. ステップ&リピート露光
      3. スキャン露光
    2. 照明方法
      1. 斜入射 (輪帯) 照明
    3. マスク
      1. 位相シフトマスク
      2. 光近接効果補正 (OPC)
      3. マスクエラーファクター (MEF)
    4. レジストプロセス
      1. 反射防止プロセス
      2. ハードマスクプロセス
      3. 化学機械研磨 (CMP) 技術
    5. ロードマップ
      1. IRDSロードマップ
      2. 微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
  2. レジスト材料の基礎
    1. 溶解阻害型レジスト
      1. g線レジスト
      2. i線レジスト
    2. 化学増幅型レジスト
      1. KrFレジスト
      2. ArFレジスト
      3. 化学増幅型レジストの安定化技術
  3. レジスト材料の展開
    1. 液浸リソグラフィ
    2. ダブル/マルチパターニング
      1. リソーエッチ (LE) プロセス
      2. セルフアラインド (SA) プロセス
    3. EUVリソグラフィ
      1. EUVレジストの設計指針
      2. EUVレジストの課題と対策
        1. 感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
        2. ランダム欠陥 (Stochastic Effects)
      3. 最新のEUVレジスト
        1. 分子レジスト
        2. ネガレジスト
        3. ポリマーバウンド酸発生剤を用いる化学増幅型レジスト
        4. 無機/メタルレジスト
    4. 自己組織化 (DSA) リソグラフィ
      1. グラフォエピタキシー
      2. ケミカルエピタキシー
      3. 高χ (カイ) ブロックコポリマー
    5. ナノインプリントリソグラフィ
      1. 加圧方式
      2. 光硬化式
  4. レジスト材料の技術展望、市場動向
    • 質疑応答・名刺交換
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講師

  • 遠藤 政孝 氏
    大阪大学 産業科学研究所
    招聘教授
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
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お問い合わせ

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1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

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複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
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  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
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