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本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

本セミナーでは、用途が広がる大気圧プラズマについて取り上げ、大気圧プラズマの基礎から表面処理、医療、農業、環境等への応用技術まで解説いたします。

本セミナーでは、プラズマの基礎から解説し、プラズマの各種生成法、現象や反応の理解、モニタリングまで、所望のプラズマプロセスを実現するための要素技術を解説いたします。

本セミナーでは、大気圧・真空プラズマ技術について基礎から解説し、従来のウェットプロセスとプラズマプロセスなどのドライプロセスとの比較を通して、プラズマプロセスの特徴を解説いたします。
現在、抱えている現在の技術課題の解決にプラズマを用いることができるか、また今後のプラズマプロセスの導入の具体的なご検討を頂けるような事例を紹介いたします。

本セミナーでは、プラズマの基礎から解説し、大気圧プラズマによる樹脂の接着前処理など表面処理技術を産業応用の事例を交えて、分かりやすく解説いたします。

本セミナーでは、親水化処理、接着性向上、クリーニング等の分野で応用が広がる大気圧プラズマについて、基礎から分かりやすく解説いたします。
また、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理、殺菌、環境浄化等への最先端の応用例を解説いたします。

本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (ALE) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。

本セミナーでは、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心に紹介いたします。

本セミナーでは、親水化処理、接着性向上、クリーニング等の分野で応用が広がる大気圧プラズマについて、基礎から分かりやすく解説いたします。
また、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理、殺菌、環境浄化等への最先端の応用例を解説いたします。

本セミナーでは、プラズマ照射により材料表面で生じている現象等、基礎事項の解説から、各種材料 (金属、ポリマー等) の表面改質や機能性発現技術までわかりやすく解説いたします。

本セミナーでは、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムについて基礎から解説いたします。

本セミナーでは、大気圧プラズマについて基礎から解説し、プラスチック・ガラス・ポリマー・金属等の大気圧プラズマ表面処理技術について詳解いたします。

本セミナーでは、プラズマの性質やプラズマ中で起こっている基本的な現象 (電離、解離、拡散、消滅) を解説するとともに、半導体微細加工において重要なパラメータとなる壁へのイオンや化学活性種のフラックス量がどのような過程で決定づけられているかを説明いたします。

本セミナーでは、プラズマの基礎知識から減圧プラズマと比較しての大気圧プラズマの生成原理や市販装置について解説いたします。
また、樹脂やフィルムといった部材への接着性・密着性・接合性向上技術の応用事例を多数紹介いたします。