技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、スパッタリングの基礎から解説し、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータ、希望の膜を得るための方法、日常の運用においてチェックしておくべき事項、トラブルが生じた際の対処方法を解説いたします。
スパッタリング装置は真空成膜装置のなかでも最も工業用に広く普及している装置です。これは、危険性の高いガスを用いるCVDのように除害設備が必要なく、比較的安価であることと、蒸着装置よりも品質の高い膜が成膜できる事に起因しています。しかしながら、真空およびスパッタリング装置に対する知識が不足していると、膜質の悪化や成膜トラブルに対して正しい対応ができません。
本セミナーでは、まず真空の基礎から成膜装置における重要な要素を解説していきます。続いて、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータを解説し、希望の膜を得るための方法について解説します。最後に、トラブルを防ぐために日常の運用においてチェックしておくべき事項を解説し、トラブルが生じた際の対処方法についても解説します。
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開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2025/5/14 | Roll To Rollにおけるフィルム乾燥の基礎と実践、設備設計と面状トラブル対策 | オンライン | |
2025/5/20 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
2025/5/21 | Roll To Rollにおけるフィルム乾燥の基礎と実践、設備設計と面状トラブル対策 | オンライン | |
2025/5/23 | CVD・ALD法による薄膜形成技術のプロセス・反応解析と装置の設計 | オンライン | |
2025/5/28 | 大気圧プラズマによる表面改質と界面評価 | オンライン | |
2025/5/29 | フレキシブルデバイス向け ハイバリアフィルムの成膜技術と最新動向 | オンライン | |
2025/5/30 | CVD/ALDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
2025/6/10 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2025/6/10 | CVD/ALDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
2025/6/11 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2025/6/12 | 製造分野における大気圧・真空プラズマ技術を用いた各種表面処理プロセス技術 | オンライン | |
2025/6/13 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2025/6/17 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2025/6/23 | プラズマエッチングの基礎、ダメージ・不良の低減と異常の検出・評価技術 | オンライン | |
2025/6/26 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
2025/6/26 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2025/6/27 | 真空技術の基礎と正しい真空システムの設計 & 活用法 | オンライン | |
2025/6/30 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン |
発行年月 | |
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2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |