技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、スパッタリングの基礎から解説し、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータ、希望の膜を得るための方法、日常の運用においてチェックしておくべき事項、トラブルが生じた際の対処方法を解説いたします。
スパッタリング装置は真空成膜装置のなかでも最も工業用に広く普及している装置です。これは、危険性の高いガスを用いるCVDのように除害設備が必要なく、比較的安価であることと、蒸着装置よりも品質の高い膜が成膜できる事に起因しています。しかしながら、真空およびスパッタリング装置に対する知識が不足していると、膜質の悪化や成膜トラブルに対して正しい対応ができません。
本セミナーでは、まず真空の基礎から成膜装置における重要な要素を解説していきます。続いて、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータを解説し、希望の膜を得るための方法について解説します。最後に、トラブルを防ぐために日常の運用においてチェックしておくべき事項を解説し、トラブルが生じた際の対処方法についても解説します。
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/10/20 | 超高真空技術の基礎と装置製作への応用 | オンライン | |
| 2026/10/22 | Roll To Roll塗工製品製造における乾燥技術のコツとツボ | オンライン | |
| 2026/10/29 | 超高真空技術の基礎と装置製作への応用 | オンライン | |
| 2026/11/5 | 先端半導体デバイスの多層配線技術と2.5D/3Dデバイス集積化 (2日間セミナー) | オンライン | |
| 2026/11/5 | 微細Cu配線・Low‐k/Air-Gap材料・Post-Cu材料に見る先端多層配線技術 | オンライン | |
| 2026/11/11 | 逐次二軸延伸ポリエチレンフィルム (BOPE) の製造技術と要素技術 | 大阪府 | 会場 |
| 2026/11/11 | 国内外のRoll To Roll最新研究動向 (2026年版) | オンライン | |
| 2026/11/12 | Roll To Roll塗工製品製造における乾燥技術のコツとツボ | オンライン | |
| 2026/11/12 | HBM・チップレット時代の3D積層技術と先進パッケージの最新動向 | オンライン | |
| 2026/11/12 | 国内外のRoll To Roll最新研究動向 (2026年版) | オンライン | |
| 2026/11/18 | エポキシ樹脂の基礎および各硬化剤の使い方・選び方 | オンライン | |
| 2026/11/19 | 真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング | オンライン | |
| 2026/11/19 | エポキシ樹脂の基礎および各硬化剤の使い方・選び方 | オンライン | |
| 2026/11/25 | ポリマーブラシの基礎と応用 | オンライン | |
| 2026/12/8 | 大気圧プラズマの基礎と低炭素技術への応用 | オンライン | |
| 2026/12/9 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/12/9 | 大気圧プラズマの基礎と低炭素技術への応用 | オンライン | |
| 2026/12/14 | 高分子・樹脂・プラスチック・フィルムにおける種類、用途、添加剤、製膜、評価および最近のトピックス | オンライン | |
| 2026/12/18 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
| 2027/1/6 | 高分子・樹脂・プラスチック・フィルムにおける種類、用途、添加剤、製膜、評価および最近のトピックス | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |