技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、スパッタリングの基礎から解説し、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータ、希望の膜を得るための方法、日常の運用においてチェックしておくべき事項、トラブルが生じた際の対処方法を解説いたします。
スパッタリング装置は真空成膜装置のなかでも最も工業用に広く普及している装置です。これは、危険性の高いガスを用いるCVDのように除害設備が必要なく、比較的安価であることと、蒸着装置よりも品質の高い膜が成膜できる事に起因しています。しかしながら、真空およびスパッタリング装置に対する知識が不足していると、膜質の悪化や成膜トラブルに対して正しい対応ができません。
本セミナーでは、まず真空の基礎から成膜装置における重要な要素を解説していきます。続いて、膜の密着性や膜質に影響する様々なパラメータを解説し、希望の膜を得るための方法について解説します。最後に、トラブルを防ぐために日常の運用においてチェックしておくべき事項を解説し、トラブルが生じた際の対処方法についても解説します。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/6/3 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2026/6/5 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2026/6/25 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
| 2026/6/29 | 薄膜測定・評価技術のポイント | オンライン | |
| 2026/6/29 | CVD/ALDプロセスの反応メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
| 2026/7/7 | 分光エリプソメトリーの基礎と実践活用 | オンライン | |
| 2026/7/8 | CVD/ALDプロセスの反応メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
| 2026/7/8 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
| 2026/7/14 | 薄膜作製の基礎 | オンライン | |
| 2026/7/14 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
| 2026/7/14 | Tダイ成形の基礎と使いこなし・トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
| 2026/7/15 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
| 2026/7/17 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
| 2026/7/24 | 薄膜作製の基礎 | オンライン | |
| 2026/7/27 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
| 2026/7/30 | 半導体ドライプロセス入門 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |