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プラズマの生成、制御、計測技術とプロセスへの応用

プラズマの生成、制御、計測技術とプロセスへの応用

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、プラズマの基礎から解説し、プラズマの各種生成法、現象や反応の理解、モニタリングまで、所望のプラズマプロセスを実現するための要素技術を解説いたします。

開催日

  • 2022年11月8日(火) 10時30分 16時30分

修得知識

  • プラズマの性質
  • プラズマで生成・制御を行うための基礎知識
  • プラズマ・表面相互作用の基礎と材料プロセスへの応用例
  • プロセス用プラズマの計測法

プログラム

 本講座では、半導体製造プロセスなどでよく用いられる低圧力プロセス用プラズマを念頭に、プラズマの生成・制御を行うための基礎とともに、プラズマに接した固体表面で起こるプラズマ・表面相互作用の基礎を取り上げ、応用例などを通じて、プラズマ材料プロセスの理解を深める。またプロセス中のプラズマの状態をモニタするためのプラズマ計測法についても紹介する。

  1. プラズマ生成
    1. プラズマの構成粒子
    2. プラズマの電位とシース形成
    3. 荷電粒子およびラジカルの生成と維持
    4. プラズマの各種生成法
      • 直流放電
      • 静電結合型高周波プラズマ
      • 誘導結合型高周波プラズマ
      • マイクロ波プラズマ
  2. プラズマのプロセスへの応用
    1. プロセスにおけるプラズマの役割
    2. プラズマに曝された表面での現象
      • 堆積
      • エッチング
      • スパッタリング
      • 注入
    3. 実際のプロセス例
  3. プラズマ計測
    1. 電気的手法
      • ラングミュアプローブ
    2. 波動的手法
      • 表面波プローブ (プラズマ吸収プローブ)
    3. 光学的手法
      • 発光分光法
      • アクチノメトリ法
      • 吸収分光法
    4. 粒子的手法
      • 質量分析法
      • 出現質量分析法
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
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本セミナーは終了いたしました。