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スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策

スパッタリングの基礎と薄膜の品質向上・不具合対策

~各現象やプロセス、不具合の原因、最近の技術動向等の理解を深めて使いこなす力を養う~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、スパッタリング法の理解に欠かせない真空・プラズマから、各種スパッタリング法の特徴、薄膜の評価、異常放電・薄膜の剥離などのトラブルと対策、シミュレーション手法や最新動向まで解説いたします。
スパッタリング技術を上手く扱うために理解すべき知識・技術を、装置・プロセスの開発に多くの経験を有する講師が分かりやすく解説いたします。

開催日

  • 2023年5月31日(水) 13時30分 16時30分

修得知識

  • 真空・プラズマ・スパッタリングの現象
  • 薄膜形成過程
  • 薄膜の評価方法 (膜厚・形状、結晶構造、力学的・機械的性質等)
  • 異常放電・密着力不足・残留応力等の不具合の原因と対応策
  • シミュレーション手法
  • スパッタリングの技術動向、最新の話題

プログラム

 スパッタリング法は半導体からディスプレイデバイス、電子デバイスまで広く工業的に普及している技術である。薄膜形成方法の中でも、ソース材料 (ターゲット) が固体であり、有毒ガスを使用しないため、除害装置などを必要とせず、比較的簡便に取り扱うことができる。しかしながら、スパッタリングは、真空、プラズマ、電磁場、原子分子の衝突・拡散、化学反応など、いずれも目に見えない現象により成り立っているため、設備およびプロセスの設計や制御の根拠となるものを掴みにくく、経験や実験的アプローチに頼らざるを得ないという側面も持っている。
 本講演では、スパッタリング技術の基礎となる真空とプラズマについて詳細に解説する。実際の工程で生じることが多い不具合の事例として、異常放電、密着力不足、残留応力等を取り上げ、その原因と対策について述べる。今後ますます重要になるであろうシミュレーション手法や、最近の技術動向などについても紹介する。

  1. はじめに 趣旨説明
  2. スパッタリングの基礎 (1) 真空
    1. 真空とは
    2. クリーン化技術
  3. スパッタリングの基礎 (2) プラズマ
    1. プラズマとは
    2. 低圧非平衡プラズマ
    3. 大気圧非平衡プラズマ
    4. 大気圧熱平衡プラズマ
  4. スパッタリングの種類と特徴
    1. 直流マグネトロンスパッタリング
    2. 高周波マグネトロンスパッタリング
    3. 反応性スパッタリング
    4. 対向ターゲット式スパッタリング
    5. ロータリーターゲット式スパッタリング
    6. パルススパッタリング (HiPIMS)
  5. スパッタリングの素過程
    1. スパッタリング
    2. 輸送過程
    3. 付着・拡散過程
  6. 薄膜の評価
    1. 結晶性評価
    2. 膜厚評価
    3. 光学的特性評価
    4. 応力評価
    5. 付着力評価
  7. スパッタリングに関するシミュレーション
    1. 磁場
    2. プラズマ
    3. 輸送過程
  8. 応用事例
    1. 光学薄膜
    2. 圧電薄膜
    3. その他応用事例
  9. スパッタリング工程における不具合の原因と対策例
    1. 膜厚均一性の向上
    2. 薄膜の剥離対策
    3. プラズマ放電の安定化
    4. その他の不具合の原因と対策
  10. 最新の技術動向
  11. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 大熊 崇文
    パナソニック株式会社 インダストリー社
    部長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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