技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
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お申し込みの際、受講方法の欄にて、会場受講またはオンライン受講をご指定ください。
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開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2025/2/21 | 表面処理・分析/接着分析 2日間講座 | オンライン | |
2025/2/21 | フィルムラミネート加工技術の基礎と実際 | オンライン | |
2025/2/21 | 高機能化、高性能化のための表面処理法の基礎と表面分析法 | オンライン | |
2025/2/21 | 塗装劣化のメカニズムと不良対策・評価解析技術 | オンライン | |
2025/2/21 | ALDの基礎と原料の開発・選択 | オンライン | |
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2025/2/21 | 塗料用添加剤の基礎と使い方・選定のポイント | オンライン | |
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2025/2/26 | シランカップリング剤の反応メカニズム、使い方、密着性や物性の評価 | オンライン | |
2025/2/27 | 防食技術者のための金属塗装の劣化とトラブル対策技術 | オンライン | |
2025/2/27 | ポリマー表面へのタンパク質吸着制御と評価、表面設計 | オンライン | |
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2025/2/27 | コーティングプロセスにおける界面化学とレオロジー解析 | オンライン | |
2025/2/28 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |
2025/2/28 | 精密バー塗布技術の基礎・応用 | 東京都 | 会場 |
2025/3/3 | コーティングプロセスにおける界面化学とレオロジー解析 | オンライン | |
2025/3/5 | 表面張力駆動流 (マランゴニ対流) に関する基礎知識と濡れ性、表面張力の解説 | オンライン | |
2025/3/5 | 微粒子・ナノ粒子の作製・表面修飾・分散・応用 | オンライン | |
2025/3/7 | 濡れ現象の基礎と計測 | オンライン |
発行年月 | |
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2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |