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半導体洗浄における洗浄機内の流れとメカニズム

半導体洗浄における洗浄機内の流れとメカニズム

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体の洗浄について基礎から解説し、半導体洗浄プロセスの流れ、汚れの除去メカニズム、洗浄効果を高める考え方、課題の原因と対策・未然防止について詳解いたします。

配信期間

  • 2026年2月10日(火) 10時30分 ~ 2026年2月20日(金) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2026年2月10日(火) 10時30分

修得知識

  • 半導体洗浄の基礎
  • 「清浄」の定義、「洗浄」の目的と対象物により異なること
  • 流れのイメージと観察・計算方法の活用
  • 先端材料の洗浄方法を組み立てる際に考えるべきこと
  • 表面をキレイにするための流れの取扱い方
  • 生産プロセスに共通して潜在する移動現象 (流れ・気泡などの動き) と改善方法
  • 困った時に真っ先に点検すること

プログラム

 半導体の開発と生産には洗浄技術が必須であり、洗浄装置とプロセスを理解している技術者は様々な課題を解決できます。しかし、その育成は容易ではありません。
 そこで、本セミナーでは、半導体洗浄に初めて取り組む場合を前提にして、薬液の働きに関する基礎と最新の洗浄方法を最初に紹介します。その次に、半導体生産工程における「清浄・きれい」の意味を見直し、洗浄プロセスの基本現象として「流れ」に着目します。そこでは、具体的に枚葉式洗浄装置とバッチ式洗浄装置の水流・気泡の可視化画像を見て、工程と現象の要点、および、改善するための考え方を知ることを目指します。終わりには、困ったときの視点と対処方法について触れます。

  1. 洗う理由:汚れの種類と由来
  2. 半導体洗浄の4要素
    • 温度
    • 時間
    • 化学
    • 力学
  3. 半導体の洗浄に特有のこと
  4. 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
  5. 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
    1. 表面の現象とプロセス (付着・脱離・引き剥がす・乾かす)
      1. 表面現象、薬液洗浄と物理的洗浄
      2. 洗浄後の表面、乾燥とパターン倒れ
      3. ドライ洗浄と超臨界流体洗浄
    2. 流れ、熱、拡散、反応 (洗う=汚れを動かす操作)
    3. 身近な流れの可視化観察例
  6. 洗浄機内の流れと反応
    1. 枚葉式洗浄機
      1. 水の流れ
        • 観察動画と計算例
        • 回転数
        • ノズルスイング
      2. 化学反応の例 (酸化膜エッチング速度の数値解析事例)
    2. バッチ式洗浄機
      1. 水の流れ (観察動画と計算例)
      2. 水流を最適化した事例
        • 水噴出角度
        • 槽内循環流
      3. ウエハ挿入と取出しの際の汚れの付着と脱落
      4. 上下に揺動する理由
    3. 超音波の働き、水と気泡の動き (観察動画)
      1. 超音波出力と水の動き
      2. ウエハ支持棒の周りの気泡の動き
      3. 超音波洗浄槽の工夫、最適化の要点
  7. 洗浄の評価方法
    • 実験
    • 計算
    • 観察
  8. 狭い空間の洗浄
    1. 液の侵入と濡れ
      • 親水性
      • 疎水性
    2. 狭い空間における反応の速度
    3. 微細パターンの洗浄面積 (パターン表面積≫見かけのウエハ面積)
  9. まとめ:困った時の視点と対策
    1. 洗えない時
    2. 洗えるが残る時
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2026年2月10日〜20日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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