技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
(2022年3月10日 10:00〜12:00)
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 極端紫外線リソグラフィー研究開発センターでは1996年よりEUVリソグラフィーの基盤技術開発に精力的に取り組んで来ました。これまで4つの国家プロジェクトに約20年間参画・先導し、また、多くの国内外の企業と共同研究を進めて参りました。
EUVリソグラフィー (EUVL) 技術は2020年よりスマートフォン、タブレット等のロジックデバイスの量産技術として本格的な量産技術として採用されており、EUVLの先端研究の現状、課題について解説します。また、次世代の半導体の量産に向けて多くのEUVL技術課題があり、この課題解決に向けては黎明期での開発の内容を知った上で課題可決に取り組む必要があります。このため、EUVL黎明期を解説するとともに、課題解決に向けた取り組み内容を紹介します。
一方で、我が国の経済活性化には半導体技術の進展が不可欠であり、併せて国の安全保障と密接に絡む技術です。この意味においても、半導体前半工程である半導体微細加工技術が果たす役割が未だに強い状況です。世界に於ける日本の半導体技術覇権に向けた問題点・課題についても触れたいと存じます。
(2022年3月10日 13:00〜14:30)
昨今、私たちは新たなデジタル社会を迎え入れようとしている。世の中で頻繁にその言葉を耳にするIOT、AI、Society 5.0等の発展に対し、さらなる電子デバイスの高速化、大容量化、省電力化が求められている。そのために不可欠なのがリソグラフィの微細化であり、その実現にはフォトレジスト材料の開発が必須である。
フォトレジスト材料の微細化の歴史および究極の微細化であるEUVリソグラフィ用フォトレジスト材料の開発について解説する。
(2022年3月10日 14:45〜16:15)
AI, IoT, EV,次世代ディスプレイ,スマートシティー,省エネなどSDGsを意識した活動が盛んになってきました。COVID – 19の影響からかスマートフォンやノートパソコンも活況。いまや「半導体」という言葉を「半導体不足」という言葉とともに聞かない日はありません。「産業のコメ」と呼ばれた半導体素子はいまや「産業のブレイン」と言われるまでになりました。EUVリソグラフィー登場し,半導体素子の高性能化・省エネ化が加速しています。
本講座では,EUVリソグラフィーの露光と光源について平易にお話する予定です。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/8/26 | エポキシ樹脂 2日間総合セミナー | オンライン | |
| 2025/8/26 | ポリマーブレンド・アロイの基礎と評価方法 | オンライン | |
| 2025/8/26 | 光学用透明樹脂の基礎と応用 | 東京都 | 会場 |
| 2025/8/26 | 二軸押出機のスクリューデザイン 超入門 | オンライン | |
| 2025/8/27 | ゴム・プラスチック材料のトラブル解決 2コースセット | 東京都 | 会場 |
| 2025/8/28 | EV電動化モビリティの高電圧絶縁評価技術の基礎と実例 | オンライン | |
| 2025/8/28 | プラスチック発泡体の気泡構造制御と成形条件最適化、トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/8/28 | ポリマーアロイ・ブレンドの基礎とモルフォロジー・物性の制御 | オンライン | |
| 2025/8/29 | 高分子合成・重合反応のメカニズムと設計指針 | オンライン | |
| 2025/8/29 | 高分子材料の誘電・絶縁特性の基礎、絶縁劣化・破壊メカニズムとその対策 | オンライン | |
| 2025/8/29 | シリコーン製品の基礎と用途・取り扱いのポイント | オンライン | |
| 2025/8/29 | ポリマーブレンド・アロイの基礎と評価方法 | オンライン | |
| 2025/8/29 | セルロースナノファイバーの複合化技術と計算科学を用いた構造解析 | オンライン | |
| 2025/9/2 | 製品設計に役立つゴム材料の勘所と最適設計手法 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/9/3 | 可塑剤・フタル酸エステルを取り巻く国内外の規制・市場動向と今後の課題 | オンライン | |
| 2025/9/4 | プラスチック、フィルム分野における「伸長流動」の考え方、その測定法と応用 | オンライン | |
| 2025/9/5 | 押出機内の樹脂挙動および混練の基礎と最適化 | オンライン | |
| 2025/9/5 | エポキシ樹脂・硬化剤・硬化促進剤の種類、特徴と硬化物性の評価、トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/9/5 | 高分子材料へのフィラーのコンパウンド技術およびナノコンポジット化技術、その特性・分散性制御と機能性付与 | オンライン | |
| 2025/9/5 | 廃プラスチックのリサイクル関連技術における最新動向 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/3/18 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2017/7/31 | 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集 |
| 2017/7/31 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 |
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |
| 2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |