技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、原子層制御プロセスの基礎から解説し、原料供給・パージ・反応性ガス供給など多くの制御パラメータの最適化や、ALDプロセスを活用した最新の応用事例を詳解いたします。
原子層成長 (ALD) プロセスは、半導体集積回路用薄膜の作製などに実用化され、その応用範囲が拡大している。また、近年は1原子層ずつ表面をエッチングするALEにも関心が高まっている。これらを組み合わせた選択成長技術は、プロセス工数の削減などに有益であると期待されている。一方、ALDは類似の薄膜作製プロセスであるCVD (Chemical Vapor Deposition) と比べると、ガス濃度や反応温度の他に、ガス供給切替シーケンスの最適化など、制御パラメータが多く、どのようにプロセスを最適化するかが難しくなっている。
本講座では、ALDとALEを併せて原子層制御プロセス (ALP) と総称し、その原理から最適化に至るまでのプロセスサイエンスの概論を述べるとともに、最新の技術動向なども紹介する。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/6/27 | ダイコーティングの基礎理論とトラブル対策 | オンライン | |
2024/6/28 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/6/28 | 高機能フィルムの製造技術とその工程 | オンライン | |
2024/6/28 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/2 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/7/3 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/10 | フッ素樹脂をはじめとするPFASの基礎と欧州PFAS規制の動向および用途別の代替手段 | オンライン | |
2024/7/10 | シランカップリング剤の反応メカニズム解析、界面 (層) 形成・表面の反応状態の分析・評価方法 | オンライン | |
2024/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/12 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2024/7/12 | ウェットコーティングの基礎と単層、多層塗布方式の解説、塗布トラブル対策 | オンライン | |
2024/7/12 | 高機能フィルムの製造技術とその工程 | オンライン | |
2024/7/23 | プラスチックの加飾技術と最新動向 | オンライン | |
2024/7/24 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2024/7/25 | 基礎から理解するポリイミドの高性能化・機能化設計 | オンライン | |
2024/7/29 | 無機ナノ粒子の総合知識 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/7/30 | プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ | オンライン | |
2024/8/7 | 無機ナノ粒子の総合知識 | オンライン | |
2024/10/11 | ウェットコーティング・単層、重層塗布方式の基礎とダイ膜厚分布・特許・塗布故障 | オンライン |
発行年月 | |
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2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |