技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。
スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。
スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つためである。しかしながら、同時にこのスパッタ粒子の高いエネルギーが、薄膜に大きな応力を残留させるという短所をも生じさせることになる。スパッタリング法により堆積された薄膜において問題となる剥離の多くはこの残留応力によるものである。
応力の残留と、それにともなう薄膜の基板からの剥離はプロセスやデバイスの信頼性を保証する上での大きな問題であり、スパッタリング生産において必ず遭遇する問題であるともいえる。
本講演では、スパッタリング法の技術基盤において、薄膜堆積機構と応力残留および付着力の向上との関連を理解した上で、 生産あるいは技術開発の現場において遭遇する応力残留および薄膜の剥離を中心とするトラブルに対応する力を身につけていくことを目標とし、スパッタリングプロセスの特徴とスパッタリングプロセスにより得られる薄膜物性の特徴を解説する。 生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/4/22 | 電子機器の防水設計の基礎と応用・不具合対策 | オンライン | |
2024/4/22 | 光学薄膜技術の総合知識と最新動向 | オンライン | |
2024/4/22 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2024/4/23 | ポリマー表面へのタンパク質吸着制御と評価、表面設計 | オンライン | |
2024/4/23 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2024/4/23 | めっき膜の密着性評価と剥離対策 | オンライン | |
2024/4/24 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/4/25 | 耐指紋・防汚性材料の設計、評価、応用、今後の展望 | オンライン | |
2024/4/25 | プラスチックフィルムの表面処理・改質技術と接着性の改善評価方法 | オンライン | |
2024/4/26 | 高屈折率材料の基礎と技術応用超高屈折率材料への分子設計 | オンライン | |
2024/4/26 | 塗布膜乾燥プロセスの解明・考察・本質の理解と塗布膜の設計、不良・欠陥対策への応用 | オンライン | |
2024/4/26 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場 |
2024/4/26 | 共押出多層フィルムの成形技術、押出安定化とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/6 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2024/5/7 | 異種材料接着に向けた金属の表面処理技術と接着性の改善 | オンライン | |
2024/5/8 | 高分子の接着性改善と表面処理、界面の構造評価技術 | オンライン | |
2024/5/9 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2024/5/10 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
2024/5/16 | 半導体めっきの基礎とめっき技術の最新技術動向 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |