技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

半導体製造プロセスにおけるクリーン化技術と精密洗浄技術

半導体製造プロセスにおけるクリーン化技術と精密洗浄技術

東京都 開催 会場 開催
関連するセミナー・出版物
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する 関連するセミナー・出版物を探す

半導体の汚染防止、汚染除去セミナーを2テーマセットにした特別コース!

概要

本セミナーは、半導体の汚染防止、汚染除去セミナーを2テーマセットにしたコースです。
セット受講で特別割引にてご受講いただけます。
通常受講料 : 94,500円 → 割引受講料 59,850円

開催日

  • 2011年6月16日(木) 12時30分 ～ 16時30分
  • 2011年6月17日(金) 10時30分 ～ 16時30分

受講対象者

  • 半導体クリーン化技術が必要な技術者
    • 半導体デバイス・装置
    • 半導体材料
    • 計測器
    • ゼネコン
    • 空調 (クリーンルーム)
    • 薬液・純水・ガス
    • クリーンテクノロジー関連

修得知識

  • 半導体教科書に書かれていない、半導体製造ラインの汚染の実態、汚染とデバイス欠陥・不良の相関の具体例
  • 半導体ウェーハへの汚染を防止し、クリーンに保つためのノウハウ
  • ウェーハ表面クリーン化の視点に立つ、歩留まり向上に役立つクリーン化技術
  • 半導体教科書にはほとんど採り上げられない半導体洗浄技術の現状の課題と将来展望
  • 基礎の基礎から世界の最新動向にいたる半導体洗浄技術のすべて
  • 洗浄技術を切り口とした先端半導体プロセス技術

プログラム

2011年6月16日「半導体製造ラインにおける汚染の実態と歩留まり向上のための半導体クリーン化技術」

半導体デバイスの微細化にともない、半導体の製造現場では、パーティクル (異物微粒子) や金属不純物、ケミカル汚染などさまざまな微小な汚染物質が、半導体デバイスの歩留りや信頼性にますます大きな影響を及ぼすようになってきています。
このため、製造ラインの超清浄化―全工程にわたりシリコンウェーハをいかに清浄に保つかの重要性が一段と高まっています。
半導体製造の根幹である半導体表面クリーン化の視点に立ったクリーン化技術の基礎から最先端情報までを、実践的な観点から豊富な事例を交え、 初心者にも分かりやすく、かつ具体的に解説します。
随時、ビデオ学習や練習問題を採り入れ受講者の理解を深めます。

  1. 予備ビデオ学習 ―世界の半導体工場の内部見学―
  2. クリーン化の目的 ―歩留まり向上の重要性―
    1. 歩留まりとは?
    2. 歩留まり向上の意義
    3. 歩留まりの低下要因
    4. 歩留まり予測モデル
  3. クリーン化の対象 ―製造ラインでの汚染の種類と実態―
    1. 半導体微細化の年代推移
    2. 半導体製造における空気清浄度の推移
    3. ウェーハ搬送方式の推移
    4. 汚染発生源の推移
    5. ボールルームとミニエンバイロンメント
      (200mm SMIFから450mm FOUPへの変遷)
    6. 半導体製造におけるクリーン化の優先順位
    7. 半導体製造において管理対象とすべき汚染の種類と推移
    8. 半導体製造におけるパーティクル汚染の実態と汚染によるデバイス不良例
    9. 半導体製造における金属汚染の実態と汚染によるデバイス不良例
    10. 半導体製造におけるケミカル (無機・有機) 汚染の実態と汚染によるデバイス不良例
  4. 半導体表面クリーン化の手法 ―各種汚染の具体的防止策―
    1. ウェーハ表面汚染の種類と主なデバイス特性への影響
    2. 半導体製造装置・プロセスの主な発塵源
    3. ウェーハ表面の汚染分析手法
    4. 半導体プロセスにおけるパーティクルの低減・防止対策
    5. 半導体プロセスにおける金属汚染の低減・防止策
    6. 半導体プロセスにおける無機・有機汚染の低減・防止策
  5. まとめ ―クリーン化技術のパラダイム転換―
  • 質疑応答・名刺交換・個別相談

2011年6月17日「半導体製造プロセスにおける精密洗浄技術の基礎と課題および最新動向」

半導体デバイスの微細化に伴い、半導体の製造現場では、パーティクルはじめ様々な微小な汚染物質が半導体デバイスの歩留まりや信頼性にますます大きな影響を及ぼすようになってきています。半導体プロセスはそのすべてが汚染の発生源です。
これらの汚染が半導体ウェーハ表面に付着してしまった場合は、洗浄で除去しなければなりません、このため、洗浄工程は、歩留りを左右する重要な工程として、半導体製造プロセスの中に繰り返し登場し、最多の工程となっています。しかし、半導体デバイスの微細化に伴い、洗浄に伴う様々なトラブルが顕在化してきており、従来の洗浄技術にブレークスルーが求められています。
本講演では、半導体洗浄技術の基礎、現状の課題と解決策、そして世界最先端の最新動向までを、実践的な観点から豊富な事例を交え、 初心者にも分かりやすく、かつ具体的に徹底解説します。
随時、ビデオ学習や練習問題を採り入れ受講者の理解を深めます。

  1. ウェーハ洗浄の基礎
    1. 半導体洗浄における洗浄の重要性
    2. 洗浄による表面汚染除去のメカニズム
      • パーティクル
      • 金属不純物
      • 有機汚染
    3. ウェーハ洗浄手法、洗浄シーケンスの変遷
      ― 多槽浸漬式洗浄から枚葉スピン洗浄へ
    4. ウェーハ乾燥手法の変遷
  2. ウェーハ洗浄の現状と課題
    1. 微細構造・新材料への対応
    2. FEOL洗浄の現状と課題
    3. BEOL洗浄の現状と課題
  3. 超微細化に向けての洗浄の課題
    1. 先端半導体製造における純水がらみの問題点
    2. 洗浄時の物理力 (超音波、2流体ジェット) によるパターン倒壊
  4. 脆弱なナノ構造にダメージを与えない洗浄
    1. ウェット洗浄の改良
    2. 代表的なドライ洗浄
      • HFベーパー
      • 極低温エアロゾル
      • クラスターイオンビーム
      • UV/ガス利用 など
    3. 超臨界流体洗浄
    4. 局所クリーニング
      • レーザー
      • ショックウエーブ
      • ナノプローブ
      • ナノピンセット など
  5. 洗浄装置業界・特許・国際会議の最新動向分析
    1. 世界洗浄装置業界の最新動向
    2. 洗浄技術の特許動向
    3. 国際会議に見る洗浄技術の最新動向
  6. まとめ – 半導体洗浄技術のパラダイムシフト
  • 質疑応答・名刺交換・個別相談
ページのトップヘ

会場

江東区産業会館

第1会議室

東京都 江東区 東陽4丁目5-18
江東区産業会館の地図
ページのトップヘ

主催

株式会社 R&D支援センター
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 57,000円 (税別) / 59,850円 (税込)
複数名
: 60,000円 (税別) / 63,000円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

割引特典について

  • R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
    • 1名でお申込みいただいた場合、1名につき59,850円 (税込)
    • 2名同時にお申し込みいただいた場合、2人目は無料 (2名で63,000円)
    • 案内登録をされない方、1名につき63,000円 (税込)
本セミナーは終了いたしました。
セミナーの再開催を依頼する
ページのトップヘ

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/9/14 次世代AIハードウェア (ニューロモルフィック、物理リザバー、インセンサコンピューティング) の最新動向とナノ材料AIデバイスの構築・実装・応用 オンライン
2026/9/14 半導体デバイス製造に用いられる接合技術 オンライン
2026/9/15 半導体デバイス製造に用いられる接合技術 オンライン
2026/9/16 人工ダイヤモンドの最新技術と産業応用最前線 オンライン
2026/9/16 医薬品工場の計画・設備設計及びバリデーションの進め方とトラブル事例 オンライン
2026/9/16 クライオエッチングの基礎・現状・課題と最新技術動向 オンライン
2026/9/17 半導体製造装置の基礎・トレンドと今後の展望 (2026年秋版) オンライン
2026/9/17 化学プロセスのコスト計算とその削減のポイント オンライン
2026/9/17 医薬品工場の計画・設備設計及びバリデーションの進め方とトラブル事例 オンライン
2026/9/18 2nm以降半導体向け配線技術の最新動向と材料、プロセスへの要求特性 オンライン
2026/9/18 200mm装置から300mm装置の大型化・高精度化に対応するCMP技術開発の動向 オンライン
2026/9/24 半導体パッケージの基礎知識、最新技術動向と課題 オンライン
2026/9/24 電子部品・材料の故障解析技術 オンライン
2026/9/25 注射剤における目視・抜取異物検査の基準設定 (適・不適管理レベル) と異物低減方法 オンライン
2026/9/25 界面活性剤の上手な使い方 オンライン
2026/9/25 半導体量子ビットの基礎と研究動向および技術課題と展望 オンライン
2026/9/28 化粧品製造における微生物トラブルと解決法及び微生物に関する試験法 オンライン
2026/9/28 半導体製造装置用セラミックス部材の開発動向とプラズマ耐性向上 オンライン
2026/9/28 界面活性剤の上手な使い方 オンライン
2026/9/29 化粧品製造における微生物トラブルと解決法及び微生物に関する試験法 オンライン
ページのトップヘ

関連する出版物

発行年月
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕 (CD-ROM版)
2022/5/23 クリーンルーム〔2022年版〕(CD-ROM版)
2022/5/23 クリーンルーム〔2022年版〕
2021/11/12 レジスト材料の基礎とプロセス最適化
2021/6/18 2021年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2021/3/30 経験/査察指摘/根拠文献・規制から導く洗浄・洗浄バリデーション:判断基準と実務ノウハウ (製本版＋ebook版)
2021/3/30 経験/査察指摘/根拠文献・規制から導く洗浄・洗浄バリデーション:判断基準と実務ノウハウ
2020/10/30 クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育
2020/7/17 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/7/19 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/4/24 洗浄バリデーション実施ノウハウと実務Q&A集
2018/3/20 レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
2018/1/10 SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント
2017/6/30 現場での効果的なクリーン化対策
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/9/30 液体または蒸気による洗浄技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2014/9/30 液体または蒸気による洗浄技術 技術開発実態分析調査報告書
2014/5/30 コンタクトレンズ用洗浄・殺菌消毒剤 技術開発実態分析調査報告書(CD-ROM版)
ページのトップヘ