技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、超高真空・真空装置設計・測定技術から蒸着・スパッタ・CVD・ALDによる成膜、ドライエッチングまでの、基礎から応用、今後の展望を解説いたします。
シリコン半導体集積回路素子、化合物半導体機能素子、フラットパネルディスプレイ、固体撮像素子や発光ダイオードなどの電子デバイスによって私たちの生活は飛躍的に豊かになりました。これらの電子デバイスは真空技術を利用した薄膜形成技術によって製造されています。昨今、リスクマネジメントの観点から、これらの電子デバイスの製造を国内回帰する動きが強まっていて、改めて真空と薄膜形成に関する技術への期待が強まっています。
今回、この需要に応えるため電子デバイスの製造技術に使用されている「真空技術の基礎」および「薄膜形成技術の基礎」に関して解説します。特に真空蒸着、スパッタリング、CVD、ALDによる薄膜形成技術 (成膜技術) および薄膜を微細加工するドライエッチング技術の基礎を解説します。合わせて、これらの技術で使用する真空下のプロセスプラズマの基礎も解説します。
講演者は、真空産業機器メーカの技術者として30以上にわたり電子デバイスの製造装置を開発しお客様と共に各種の電子デバイス工場の立ち上げに従事してきました。
これらの経験を活かし、特に電子デバイスの製造向け真空技術と薄膜形成技術をまとめ、今回の講義資料としています。日本の製造産業として従来の電子デバイスを進化させるためにも真空技術と薄膜形成技術の基礎知識が必要です。また、更に新しい電子デバイスの提案は今後とも必須でしょう。
今回の講習会で得た知識を活かして、受講いただく皆様が新しい電子デバイスの製造に役に立つよう繋がれば幸いです。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/6/30 | ウェブハンドリング、Roll to Rollを利用した生産技術とトラブル対策 |
| 2025/3/31 | エッチングの高度化と3次元構造の作製技術 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |