技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

関口 敦

所属

工学院大学
教育支援機構

役職

特任教授

学位

博士 (理学)

専門

  • 真空工学
  • 薄膜作製
  • CVD
  • スパッタリング
  • ドライエッチング
  • プロセスプラズマ

経歴

  • 1982年 青山学院大学 理工学研究科 化学専攻 修士課程修了
  • 1982年4月 日電アネルバ株式会社 (現キヤノンアネルバ株式会社) 入社
    この間、薄膜太陽電池の製造装置、半導体集積回路素子の製造装置・プロセス開発などに従事
  • 1990年4月〜1994年7月 新技術事業団 (現 国立研究開発法人 科学技術振興機構)ERATO 増原極微変換プロジェクト研究員として出向
  • 1992年 アネルバ株式会社 (現キヤノンアネルバ株式会社) に復帰
    この間、半導体集積回路素子の製造装置 (CVD、スパッタリング、ドライエッチング) 装置・プロセスの開発に従事
  • 2003年 青山学院大学 理工学研究科 化学専攻で博士論文審査に合格
  • 2004年4月 青山学院大学 大学院 理工学研究科 非常勤講師
  • 2016年3月 キヤノンアネルバ株式会社 定年退職
  • 2016年4月〜2020年3月 工学院大学 学習支援センター 講師
  • 2020年4月 工学院大学 教育支援機構 特任教授
  • 2023年4月 青山学院大学 大学院 理工学研究科 機能物質創成コース客員教授

受賞

  • 2024年 日本表面真空学会 真空と表面の匠賞

講演するセミナー

会場 開催方法
2025/5/23 CVD・ALD法による薄膜形成技術のプロセス・反応解析と装置の設計 オンライン

講演したセミナー

会場 開催方法
2024/12/10 半導体機能素子製造向けドライプロセス入門 オンライン
2024/11/12 電子デバイス製造における真空および薄膜形成技術の基礎と応用 東京都 会場・オンライン
2024/5/14 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ オンライン