技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、それぞれに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
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| 2024/12/6 | プラスチック用添加剤の作用機構と使い方 | 東京都 | 会場 |
| 2024/12/9 | 二軸スクリュ押出機を用いたリアクティブプロセシング技術の基礎から応用へ | オンライン | |
| 2024/12/9 | 架橋技術によるポリマーの性能向上と物性・特性改良方法 | オンライン | |
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| 2024/12/10 | フィラー最密充填構造設計とポリマー系複合材料の高熱伝導化 | オンライン | |
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| 2024/12/11 | ポリマー・高分子材料のモノマー化・解重合技術の基礎とケミカルリサイクルの技術動向 | オンライン | |
| 2024/12/11 | チクソ性の基礎、制御、測定・評価と実用系への活用方法 | オンライン | |
| 2024/12/13 | レジストリソグラフィーの基礎と実用化ノウハウ | オンライン | |
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| 2024/12/13 | エポキシ樹脂の基礎、硬化剤との反応および副資材による機能化 | オンライン | |
| 2024/12/16 | エポキシ樹脂の最新技術動向と設計技術および今後の課題 | オンライン | |
| 2024/12/16 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/16 | フィラー最密充填構造設計とポリマー系複合材料の高熱伝導化 | オンライン | |
| 2024/12/16 | 熱可塑性エポキシ樹脂の基礎と応用 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |
| 2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
| 2012/9/27 | 熱膨張・収縮の低減化とトラブル対策 |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2012/5/28 | 微量ガスの高感度分析方法 |
| 2012/3/9 | フォトレジスト材料の評価 |
| 2012/2/28 | UV硬化プロセスの最適化 (新装版) |
| 2012/2/25 | フォトレジスト 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2011/11/25 | アクリル酸エステル 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2011/6/20 | 高分子材料のフラクトグラフィ |
| 2010/12/15 | エポキシ樹脂市場の徹底分析 |
| 2010/3/1 | シリコーン製品市場の徹底分析 |
| 2010/2/25 | UV硬化プロセスの最適化2 |
| 2009/11/24 | 高分子材料の劣化と寿命予測 |
| 2009/10/1 | 国際化時代のポリエステル樹脂総合分析 |
| 2009/7/31 | 数式のないレオロジー超入門講座 |
| 2009/2/5 | 自動車ゴム製品12社分析 技術開発実態分析調査報告書 (PDF版) |
| 2009/2/5 | 自動車ゴム製品12社分析 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2009/1/16 | 世界のエンジニアリング樹脂 |