技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、それぞれに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/12/13 | レジストリソグラフィーの基礎と実用化ノウハウ | オンライン | |
| 2024/12/13 | 高分子絶縁材料の劣化・絶縁破壊メカニズムと計測・データ解釈法 | オンライン | |
| 2024/12/13 | プラスチック加飾技術の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
| 2024/12/13 | エポキシ樹脂の基礎、硬化剤との反応および副資材による機能化 | オンライン | |
| 2024/12/16 | エポキシ樹脂の最新技術動向と設計技術および今後の課題 | オンライン | |
| 2024/12/16 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/16 | フィラー最密充填構造設計とポリマー系複合材料の高熱伝導化 | オンライン | |
| 2024/12/17 | 高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術 | オンライン | |
| 2024/12/17 | 天然植物繊維を強化材とする複合材料の基礎と応用 | 東京都 | 会場 |
| 2024/12/17 | 静的・動的光散乱法を中心とした粒径計測の基礎と応用 | オンライン | |
| 2024/12/17 | シリコーンの基本知識と高機能化・トラブル対策 | オンライン | |
| 2024/12/18 | 加工の基礎と機械加工技術 | オンライン | |
| 2024/12/18 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ | オンライン | |
| 2024/12/18 | 半導体用レジストの特性および材料設計とその評価 | オンライン | |
| 2024/12/19 | 高剪断成形加工法の基礎と新規材料創出への応用 | オンライン | |
| 2024/12/19 | 高分子・ポリマー材料の合成、重合反応の基礎、プロセスと工業化・実用化の総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/19 | シリカ微粒子の基礎 (分類・製法・特性と評価) とポリマーへの配合・複合化技術 | オンライン | |
| 2024/12/19 | 高分子の相溶性と相分離および結晶化の基礎 | オンライン | |
| 2024/12/20 | ゴム材料のトライボロジー入門 | オンライン | |
| 2024/12/20 | 次世代バイオプラスチックの開発最前線 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2018/3/19 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2018/3/18 | 射出成形機〔2018年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2017/7/31 | 機能性モノマーの選び方・使い方 事例集 |
| 2017/7/31 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 |
| 2017/6/19 | ゴム・エラストマー分析の基礎と応用 |
| 2017/2/27 | プラスチックの破損・破壊メカニズムと耐衝撃性向上技術 |
| 2017/1/31 | 放熱・高耐熱材料の特性向上と熱対策技術 |
| 2016/8/31 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ |
| 2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
| 2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |