技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年9月13日〜30日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2024年9月13日まで承ります。
本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、露光システムに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
ライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/12/13 | エポキシ樹脂の基礎、硬化剤との反応および副資材による機能化 | オンライン | |
2024/12/16 | エポキシ樹脂の最新技術動向と設計技術および今後の課題 | オンライン | |
2024/12/16 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
2024/12/16 | フィラー最密充填構造設計とポリマー系複合材料の高熱伝導化 | オンライン | |
2024/12/16 | 熱可塑性エポキシ樹脂の基礎と応用 | オンライン | |
2024/12/17 | 高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術 | オンライン | |
2024/12/17 | 天然植物繊維を強化材とする複合材料の基礎と応用 | 東京都 | 会場 |
2024/12/17 | 3Dプリンティング技術の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
2024/12/17 | プラスチックリサイクル技術の現状・課題・最新動向 | オンライン | |
2024/12/17 | 静的・動的光散乱法を中心とした粒径計測の基礎と応用 | オンライン | |
2024/12/17 | シリコーンの基本知識と高機能化・トラブル対策 | オンライン | |
2024/12/18 | 加工の基礎と機械加工技術 | オンライン | |
2024/12/18 | 無機-有機ハイブリッド樹脂の基礎と機能性ハードコートへの応用 | 東京都 | 会場 |
2024/12/18 | ポリマーアロイにおける相溶性の基礎と物性制御ノウハウ | オンライン | |
2024/12/18 | 半導体用レジストの特性および材料設計とその評価 | オンライン | |
2024/12/18 | 高分子の結晶化と結晶高次構造の特徴・各種分析法 | オンライン | |
2024/12/19 | 高剪断成形加工法の基礎と新規材料創出への応用 | オンライン | |
2024/12/19 | ナノ粒子・ナノカーボンへの表面グラフト化による機能付与及び分散性制御 | オンライン | |
2024/12/19 | 高分子・ポリマー材料の合成、重合反応の基礎、プロセスと工業化・実用化の総合知識 | オンライン | |
2024/12/19 | シリカ微粒子の基礎 (分類・製法・特性と評価) とポリマーへの配合・複合化技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |