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パワーデバイス半導体SiC結晶と欠陥評価技術

パワーデバイス半導体SiC結晶と欠陥評価技術

~SiCウェハの欠陥評価法を理解する~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説いたします。

開催日

  • 2024年6月20日(木) 13時00分 16時30分

修得知識

  • SiC結晶欠陥に関する基礎
  • SiC結晶の評価手法

プログラム

 SiCパワーデバイスは、N700S系新幹線をはじめとする電鉄車両の電力変換や、電気自動車、などにすでに用いられており、社会実装が始まっている。しかし、無転位の結晶を前提とすることができるSiと比較すると、多くの結晶欠陥がSiCウェハには含まれており、SiCパワーデバイスの生産性を低下させる原因となっている。このため、SiCパワーデバイスにおいては、結晶欠陥の評価が重要となる。
 本講座では、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説を行い、SiCウェハの欠陥評価法の理解を深める。

  1. はじめに
    1. SiCパワーデバイスの市場概況
    2. SiCパワーデバイスの特性比較 (Siとの比較)
  2. SiCの基礎
    1. SiCの結晶構造と多形
    2. 六方晶の結晶方位 (四指数法)
    3. 結晶多形 (Polytype) の解説
    4. Si面とC面
  3. SiC結晶の成長法
    1. 昇華法
    2. CVD法
    3. 溶液法
  4. 結晶欠陥の基礎
    1. 結晶欠陥の種類 (0次元から3次元)
    2. 結晶欠陥の観察例と観察法
    3. 欠陥がデバイス性能に与える影響
  5. SiCの結晶欠陥
    1. マイクロパイプと転位
    2. 積層欠陥
  6. 結晶欠陥の評価技術
    1. X線トポグラフィ法
    2. KOHエッチング法
    3. フォトルミネッセンス法
    4. 透過電子顕微鏡法
    5. 偏光顕微鏡法
  7. マルチモーダル解析
    1. 結晶欠陥のマルチモーダル解析
    2. 欠陥自動検出アルゴリズム
  8. 実例と応用
    1. RAF法による結晶欠陥低減
    2. 溶液法における結晶欠陥低減
    3. 基底面転位とバイポーラ劣化
    4. CVD法による基底面転位の変換
    5. 欠陥制御によるバイポーラ劣化抑制技術
    6. 低抵抗SiC基板における積層欠陥形成
    7. 貫通転位とデバイスリーク
  9. まとめと質疑応答
    1. まとめ
    2. 質疑応答

講師

  • 原田 俊太
    名古屋大学 未来材料・システム研究所 附属未来エレクトロニクス集積研究センター 未来デバイス部
    准教授

主催

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お問い合わせ

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(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 32,400円 (税別) / 35,640円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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