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パワーデバイス半導体SiC結晶と欠陥評価技術

パワーデバイス半導体SiC結晶と欠陥評価技術

~SiC結晶、欠陥の種類、デバイス特性への影響、結晶欠陥の評価手法~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説いたします。

開催日

  • 2025年6月20日(金) 13時00分 16時30分

修得知識

  • SiC結晶欠陥に関する基礎
  • SiC結晶の評価手法

プログラム

 SiCパワーデバイスは、N700S系新幹線をはじめとする電鉄車両の電力変換や、電気自動車、などにすでに用いられており、社会実装が始まっている。しかし、無転位の結晶を前提とすることができるSiと比較すると、多くの結晶欠陥がSiCウェハには含まれており、SiCパワーデバイスの生産性を低下させる原因となっている。このため、SiCパワーデバイスにおいては、結晶欠陥の評価が重要となる。
 本講座では、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説を行い、SiCウェハの欠陥評価法の理解を深める。

  1. はじめに
    1. SiCパワーデバイスと高品質SiC結晶基板の重要性
    2. SiC基板の社会実装の進展と今後の課題
    3. SiC基板の供給状況と技術的課題
  2. SiCの基礎
    1. SiCの結晶構造と多形
    2. 六方晶の結晶方位 (四指数法)
    3. 結晶多形 (Polytype) の解説
    4. Si面とC面
  3. SiC結晶の成長法
    1. 昇華法
    2. CVD法
    3. 溶液法
    4. 各成長法の利点・課題と欠陥発生メカニズム
  4. 結晶欠陥の基礎
    1. 結晶欠陥の種類 (0次元から三次元)
    2. SiC特有の結晶欠陥の基礎
      • マイクロパイプ
      • 転位
      • 積層欠陥
    3. 結晶欠陥の観察例と観察法
    4. 結晶欠陥がデバイス性能に与える影響
  5. 結晶欠陥の評価技術
    1. X線トポグラフィ法
    2. フォトルミネッセンス法
    3. 偏光顕微鏡法
    4. KOHエッチング法
    5. 透過電子顕微鏡法
    6. 評価手法ごとの特徴・適用範囲の整理
  6. マルチモーダル解析
    1. 結晶欠陥のマルチモーダル解析
    2. 欠陥自動検出アルゴリズム
      • 画像処理
      • 機械学習活用
  7. 結晶欠陥制御技術の実例と応用
    1. 結晶成長過程における欠陥低減技術
      • RAF法
      • 溶液法など
    2. 基底面転位 (BPD) とバイポーラ劣化のメカニズムおよび抑制技術 (CVD法含む)
    3. 低抵抗SiC基板における積層欠陥形成と制御
  8. まとめと質疑応答
    1. まとめ
    2. 質疑応答

講師

  • 原田 俊太
    名古屋大学 未来材料・システム研究所 附属未来エレクトロニクス集積研究センター 未来デバイス部
    准教授

主催

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お問い合わせ

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(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,400円 (税別) / 37,840円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
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  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
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    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
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  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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