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半導体デバイス製造工程における物理的洗浄技術の基礎と静電気障害対策

半導体デバイス製造工程における物理的洗浄技術の基礎と静電気障害対策

~進化し続ける半導体デバイスに対応できる洗浄技術を確立するために / 半導体デバイスの物理的洗浄の有用性 / 水流を利用した洗浄技術 / スプレー洗浄時の静電気障害~
オンライン 開催 個別相談付き

概要

本セミナーでは、半導体の基礎、流体力学、電磁気学、AIから解説し、物理的洗浄について原理から丁寧に説明いたします。
また、半導体デバイス製造工程の歩留まりを決定する洗浄プロセスの中でもスプレー、超音波、ブラシを利用した物理的洗浄方法とその際に生じる静電気障害への対策についても解説いたします。

開催日

  • 2023年4月26日(水) 13時00分 16時30分

修得知識

  • 半導体の基礎
  • 流体力学の基礎
  • 電気磁気学の基礎
  • 機械学習/AIの基礎
  • 半導体デバイスの物理的洗浄の有用性
  • 水流を利用した洗浄技術
  • スプレー洗浄時の静電気障害
  • 物理的洗浄で生じる静電気障害への対策

プログラム

 近年、半導体デバイスの進化はものすごいスピードを進んでいます。このセミナーは半導体デバイスの物理的洗浄に関して説明を行います。セミナーでは半導体デバイスのマーケットの動向と業界動向から工学基礎 (半導体の基礎の基礎、流体力学、電気磁気学、AI) から説明を行い、現在半導体デバイスの製造プロセスで使われている物理的洗浄について原理から丁寧に説明します。また講演者が専門としている半導体デバイス製造時の静電気障害の対策についても紹介し、それを防止するためのAI技術についても述べます。半導体デバイス製造プロセスにどのようにAIが用いることができるがヒントになると幸いです。基礎的なことからお話しますので、半導体デバイス洗浄に関わる3から4年の方や半導体デバイス洗浄にビジネスをお探しの方に最適かと思います。

  1. 半導体デバイスのマーケットの動向と業界動向
  2. 半導体デバイスの物理的洗浄の必要性
    1. 半導体デバイスの基礎
    2. 半導体製造プロセス
    3. 半導体デバイス製造プロセスにおける洗浄の必要性
    4. 化学的洗浄と物理的洗浄
  3. 水流を利用した洗浄について
    1. 流体力学の基礎
    2. 高圧スプレー洗浄
    3. 二流体スプレー洗浄
    4. 超音波洗浄スプレー洗浄
    5. ブラシ洗浄
    6. 次世代の物理的洗浄技術
  4. スプレー洗浄時の静電気障害
    1. 静電気の基礎
    2. 半導体デバイスの洗浄の静電気障害
    3. スプレー時に発生する静電気と静電気障害のメカニズム
  5. AIを用いた半導体デバイスの生産技術
    1. AIの基礎
    2. 半導体製造に用いられるAI
    3. 静電気障害防止を例にしたAIの活用法
    • 質疑応答

講師

  • 清家 善之
    愛知工業大学 工学部 電気学科
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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