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清家 善之

所属

愛知工業大学
工学部
電気学科

役職

教授

学位

博士 (工学)

専門

  • 半導体デバイスの洗浄
  • 有機エレクトロニクス
  • 品質管理

経歴

半導体デバイスや液晶パネル等の洗浄装置の開発設計に従事、有機デバイス (有機系太陽電池) の製作プロセスに関する研究に従事

  • 1990年4月 旭サナック株式会社入社
    • 静電塗装機用高電圧発生回路の開発、半導体デバイス・FPD洗浄装置製造販売、電子デバイス用製膜装置の製造販売技術統括・品質保証室長
  • 2004年〜2006年 米国アリゾナ大学客員研究員
    • 半導体デバイスの精密加工プロセス (CMP) の研究
  • 2007年9月 埼玉大学 (学位取得)
  • 2016年4月 愛知工業大学 工学部 電気学科 教授
  • 2016年〜2021年 旭サナックに向けて品質管理勉強会講師 (兼職)
  • 2022年 半導体洗浄に関するweb講習 講師
  • 2022年8月 la quaLab合同会社 設立 (愛知工業大学 教員との兼職)

学協会

  • 応用物理学会
  • 電気学会
  • 電子情報通信学会
  • 静電気学会
  • 精密工学会
  • The Electrochemical Society
  • ECS