技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

半導体デバイス製造工程における物理的洗浄技術の基礎と静電気障害対策

半導体デバイス製造工程における物理的洗浄技術の基礎と静電気障害対策

~進化し続ける半導体デバイスに対応できる洗浄技術を確立するために / 半導体デバイスの物理的洗浄の有用性 / 水流を利用した洗浄技術 / スプレー洗浄時の静電気障害~
オンライン 開催 個別相談付き

概要

本セミナーでは、半導体の基礎、流体力学、電磁気学、AIから解説し、物理的洗浄について原理から丁寧に説明いたします。
また、半導体デバイス製造工程の歩留まりを決定する洗浄プロセスの中でもスプレー、超音波、ブラシを利用した物理的洗浄方法とその際に生じる静電気障害への対策についても解説いたします。

開催日

  • 2023年4月26日(水) 13時00分 16時30分

修得知識

  • 半導体の基礎
  • 流体力学の基礎
  • 電気磁気学の基礎
  • 機械学習/AIの基礎
  • 半導体デバイスの物理的洗浄の有用性
  • 水流を利用した洗浄技術
  • スプレー洗浄時の静電気障害
  • 物理的洗浄で生じる静電気障害への対策

プログラム

 近年、半導体デバイスの進化はものすごいスピードを進んでいます。このセミナーは半導体デバイスの物理的洗浄に関して説明を行います。セミナーでは半導体デバイスのマーケットの動向と業界動向から工学基礎 (半導体の基礎の基礎、流体力学、電気磁気学、AI) から説明を行い、現在半導体デバイスの製造プロセスで使われている物理的洗浄について原理から丁寧に説明します。また講演者が専門としている半導体デバイス製造時の静電気障害の対策についても紹介し、それを防止するためのAI技術についても述べます。半導体デバイス製造プロセスにどのようにAIが用いることができるがヒントになると幸いです。基礎的なことからお話しますので、半導体デバイス洗浄に関わる3から4年の方や半導体デバイス洗浄にビジネスをお探しの方に最適かと思います。

  1. 半導体デバイスのマーケットの動向と業界動向
  2. 半導体デバイスの物理的洗浄の必要性
    1. 半導体デバイスの基礎
    2. 半導体製造プロセス
    3. 半導体デバイス製造プロセスにおける洗浄の必要性
    4. 化学的洗浄と物理的洗浄
  3. 水流を利用した洗浄について
    1. 流体力学の基礎
    2. 高圧スプレー洗浄
    3. 二流体スプレー洗浄
    4. 超音波洗浄スプレー洗浄
    5. ブラシ洗浄
    6. 次世代の物理的洗浄技術
  4. スプレー洗浄時の静電気障害
    1. 静電気の基礎
    2. 半導体デバイスの洗浄の静電気障害
    3. スプレー時に発生する静電気と静電気障害のメカニズム
  5. AIを用いた半導体デバイスの生産技術
    1. AIの基礎
    2. 半導体製造に用いられるAI
    3. 静電気障害防止を例にしたAIの活用法
    • 質疑応答

講師

  • 清家 善之
    愛知工業大学 工学部 電気学科
    教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2023/6/9 CMPプロセスの設計と高精度、安定化技術 オンライン
2023/6/9 PIC/S Annex1を踏まえた環境モニタリングで知っておくべきこと オンライン
2023/6/9 化粧品製造における微生物トラブルと解決法及び微生物に関する試験法 オンライン
2023/6/12 半導体ダイシングの低ダメージ化技術 オンライン
2023/6/16 CMP技術とその最適なプロセスを実現するための実践的総合知識 オンライン
2023/6/16 ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向 オンライン
2023/6/20 工場の節電・省エネ技術 オンライン
2023/6/21 半導体デバイスの洗浄技術と洗浄表面の評価 オンライン
2023/6/21 半導体デバイス製造に用いられる接合技術 オンライン
2023/6/22 Roll To Roll精密塗工の製造技術と必要なクリーンルーム オンライン
2023/6/23 車載半導体の概要・概況、高信頼性化技術と国際規格対応 オンライン
2023/6/26 CMP技術とその最適なプロセスを実現するための実践的総合知識 オンライン
2023/6/26 Roll To Roll精密塗工の製造技術と必要なクリーンルーム オンライン
2023/6/27 複雑流体の基礎と挙動およびその流動解析手法 オンライン
2023/6/28 ALD (原子層堆積法) 技術の基礎・入門と応用展開 オンライン
2023/6/28 流体力学基礎講座 オンライン
2023/6/28 クリーンルーム内におけるゴミ・異物の見つけ方と対策の実践方法 オンライン
2023/6/29 医薬品の外観目視検査における要求品質の明確化と異物低減対策 オンライン
2023/6/29 異物ゼロへのアプローチ オンライン
2023/6/30 異種デバイス集積化プロセスの基礎と今後の半導体パッケージの開発動向 オンライン

関連する出版物

発行年月
2022/11/29 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術
2022/10/31 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術
2022/6/17 経験/査察指摘/根拠文献・規制から導く洗浄・洗浄バリデーション:判断基準と実務ノウハウ (追補版)
2022/6/17 2022年版 電子部品市場・技術の実態と将来展望
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕 (CD-ROM版)
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕
2022/5/23 クリーンルーム〔2022年版〕(CD-ROM版)
2022/5/23 クリーンルーム〔2022年版〕
2021/11/12 レジスト材料の基礎とプロセス最適化
2021/6/18 2021年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2021/3/30 経験/査察指摘/根拠文献・規制から導く洗浄・洗浄バリデーション:判断基準と実務ノウハウ
2020/10/30 クリーンルームの微小異物・汚染物対策と作業員教育
2020/7/17 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/7/19 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/4/24 洗浄バリデーション実施ノウハウと実務Q&A集
2018/3/20 レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
2018/1/10 SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント
2017/8/29 洗浄バリデーション実施・サンプリング妥当性とDHT・CHT/残留許容値の設定
2017/6/30 現場での効果的なクリーン化対策
2014/10/31 炭化ケイ素半導体 技術開発実態分析調査報告書