技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
(2021年8月3日 10:00〜12:00)
EUVリソグラフィー (EUVL) 技術は2020年よりスマートフォン、タブレット等のロジックデバイスの量産技術として本格的な量産技術として採用されています。次世代の半導体の量産に向けて、多くのEUVL技術課題があり、黎明期での開発の内容を知って上で、これらの課題可決に取り組む必要があります。一方で、我が国の経済活性化には半導体技術の進展が必須であり、国の安全保障と密接に絡む技術であります。この意味においても、まだまだ半導体微細加工技術が果たす役割が強い状況です。以上の内容を鑑みた講演内容になっていますので、ご視聴を頂けると幸いです。
(2021年8月3日 13:00〜14:40)
フォトレジスト材料は、露光システムの性能を発揮すべく、様々な構造を基盤としたポリマーや低分子化合物の合成が検討されてきた。レーザーに対する透明性、感度、ラフネス、耐エッチング性、および薄膜の安定性などである。それらのレジスト特性は、ポリマーや低分子の基本的な物理的特性や、光反応性のデータを集めることで、かなりの深部まで予想することが可能であり、特別なレジスト関連機器がなくても、レジスト材料の分子設計は可能であることを解説する。さらに、KrF、ArF、EB、およびEUVレジスト材料の合成例と分子設計指針について解説し、最新のレジスト材料としてEUVレジスト材料の開発方法について解説する。
(2021年8月3日 14:50〜16:30)
EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術について解説します。特に、現在、開発が進んでいる次世代EUVレジストである、メタルレジストの特徴と評価方法について、解説します。
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/4/5 | エポキシ樹脂の硬化メカニズム、硬化剤の種類と選び方、使い方 | オンライン | |
2024/4/8 | 生分解性マイクロカプセルの材料設計、用途展開、今後の展望 | オンライン | |
2024/4/8 | プラスチック強度設計の基礎知識 | オンライン | |
2024/4/9 | エポキシ樹脂の分子構造・硬化性および耐熱性とその他の機能性付与技術 | オンライン | |
2024/4/9 | 架橋ポリオレフィンのマテリアルリサイクル技術の最先端 | オンライン | |
2024/4/10 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ | オンライン | |
2024/4/10 | 押出加工技術の基本技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/4/10 | ポリイミドの基礎とポリイミド系材料の低誘電率化・低誘電正接化 | オンライン | |
2024/4/11 | 粘度の基礎と実用的粘度測定における留意点と結果の解釈 | オンライン | |
2024/4/12 | 動的粘弾性のチャート読み方とその活用ノウハウ | オンライン | |
2024/4/12 | ラジカル重合の重合反応と開始剤の種類・選び方、応用 | オンライン | |
2024/4/12 | 光学樹脂における屈折率・複屈折の考え方とその測定・制御 | オンライン | |
2024/4/12 | プラスチックの難燃化技術 | オンライン | |
2024/4/12 | プラスチックの難燃化技術の基礎と技術動向 | オンライン | |
2024/4/18 | エポキシ樹脂の基礎と硬化剤の選定、変性・配合改質および複合材料用途の動向 | オンライン | |
2024/4/18 | 静的・動的光散乱法を中心とした粒径計測の基礎と応用 | オンライン | |
2024/4/18 | ディジタルホログラフィによる産業応用計測 | オンライン | |
2024/4/19 | 生分解性プラスチックの基礎・最新動向と食品容器・包装への応用展開 | オンライン | |
2024/4/19 | 副資材を利用した高分子材料の設計技術 | オンライン | |
2024/4/19 | 高分子合成におけるラジカル重合の基礎講座 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2014/11/30 | 繊維強化プラスチック(FRP)〔2015年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/8/28 | 高分子の劣化・変色メカニズムとその対策および評価方法 |
2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/6/15 | 射出成形機〔2014年版〕 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/9/2 | 機能性エラストマー市場の徹底分析 |
2013/6/26 | UV・EB硬化型コート材の基礎、各種機能向上技術 |
2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/5/20 | ドラッグデリバリーシステム 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/4/5 | 高分子の延伸による構造と配向の発現およびそれらの制御法を利用した材料開発 |
2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2013/2/28 | 吸水性樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2013/2/20 | 導電・絶縁材料の電気および熱伝導特性制御 |
2012/11/1 | 高分子の結晶化メカニズムと解析ノウハウ |
2012/10/31 | ハイブリッド・デュアルUV硬化の実践的活用 |
2012/9/27 | 熱膨張・収縮の低減化とトラブル対策 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/5/28 | 微量ガスの高感度分析方法 |
2012/3/9 | フォトレジスト材料の評価 |
2012/2/28 | UV硬化プロセスの最適化 (新装版) |