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関口 淳

所属

リソテックジャパン 株式会社

役職

取締役執行役員 / ナノサイエンス・グループ長

学位

博士 (工学)

経歴

  • 1983年3月 芝浦工業大学 応用化学科 卒業
  • 1983年4月 日本ケミテック入社。分析研究所に勤務。
  • 1985年4月 住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。
  • その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。
  • 1993年10月 リソテックジャパン 株式会社 設立に参加 レジスト解析装置、リソグラフィーシミュレータの研究開発に従事
  • 2001年3月 東京電機大学にて博士 (工学)
  • 2018年4月 立命館大学 理工学部 客員研究員

学協会

  • 応用物理学会会員
  • 電子情報通信学会会員
  • SPIE会員

著書

発行年月
フォトレジスト材料の評価 2012/3/9 在庫あり