技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
2020年7月31日 23:59までお申込み受付中
収録日:2020年3月30日 10:00～17:00 (視聴時間:5時間16分)
本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
このセミナーは、2020年3月30日収録セミナーの映像配信です。講師と直接質疑応答いただけます。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
このセミナーに関する質問に限り、後日に講師とZoomなどを活用して個別Q&Aをすることができます (15分程度) 。
具体的には、セミナー資料に講師のメールアドレスを掲載していますので、セミナーに関する質問がございましたら
先ずは講師に直接メールでアポイントメント後、ZoomなどTV会議システムでQ&Aをしてください。
(継続的なメールでのQ&Aではなく、短時間ミーティングによるQ&Aを講師が希望しています。)
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| 2025/12/18 | 乳化重合・ソープフリー乳化重合によるポリマー微粒子の合成と粒子径・形状制御 | オンライン | |
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| 2025/12/19 | シランカップリング剤の基礎、反応メカニズム、各種応用、その評価 | オンライン | |
| 2025/12/19 | 濡れ現象の基礎と測定評価法・応用事例 | オンライン | |
| 2025/12/22 | ゾル-ゲル法の基礎と機能性材料作製への応用および新展開 | オンライン | |
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| 2025/12/23 | エポキシ樹脂のフィルム化と接着性の向上、分析・評価 | オンライン | |
| 2025/12/24 | DLC (ダイヤモンドライクカーボン) 被覆およびその複合処理による金属材料の耐久性向上 | オンライン |
| 発行年月 | |
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| 2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
| 2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
| 2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
| 2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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| 2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
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| 2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
| 1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
| 1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
| 1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
| 1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
| 1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |