技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、エアロゾルデポジション法の基礎から、製膜体の特性、用途展開、実用化の課題・事例、今後の展望などに関して、同技術を世界で初めて実用化・量産化された講師が、商品化の着眼点から実用化で苦労した点を含めて解説いたします。
セラミックス材料は、「さびない」「硬い」「高温まで耐える」といった特徴を有することから、金属・樹脂材料では叶えなかった用途にこれまで多く適用されてきた。近年では、部材の大型化・複雑形状化・コスト低減といった市場性ニーズも高まり、セラミックスの特性を一部分のみに付与するといったセラミックコーティング技術に注目が集まりつつある。しかしこのセラミックコーティング技術は、難溶性のセラミック粉体を基材 (母材) に被覆することから高温の加熱処理が必要であり、高温に耐えられる基材へのみの技術であった。
そのような中、セラミック微粒子をガス中に分散混合させたエアロゾルをノズルから高速で噴射し、基材に衝突させただけで基材上にセラミックス膜を形成できるエアロゾルデポジション法技術が1997年に産総研で発見された。この技術は全く熱を加えることなく、室温で基材上に比較的厚膜のセラミック製膜体を作ることができることから、セラミックコーティング業界においてはイノベーション技術として業界から注目されているが、本技術は発見から約20年経とうとしている現在、我々以外に商品化・実用化に至っていないのが現状である。
本セミナーでは、我々の商品化・実用化に至った経緯を交えながら、この技術の基礎として、製膜技術の特徴と製膜性に及ぼす各種パラメータの関係、更にはその特性を述べ、従来の製膜体との比較を行い、本技術の特徴を活かした用途展開の可能性、応用化の検討について紹介する。特に、商品化した半導体製造装置用部材については、商品化の着眼点から実用化で苦労した点について事例として紹介し、最後に本技術の更なる実用化における課題についても論じる。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/4/24 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/4/26 | 高屈折率材料の基礎と技術応用超高屈折率材料への分子設計 | オンライン | |
2024/4/26 | セラミック粉体プロセスの基礎と高機能セラミックスの創製 | オンライン | |
2024/4/26 | 共押出多層フィルムの成形技術、押出安定化とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/9 | ファインセラミックス成形プロセスにおける高分子の役割とバインダー設計 | オンライン | |
2024/5/9 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
2024/5/10 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/5/14 | 真空技術の基本と機器の運用・問題解決のコツ | オンライン | |
2024/5/16 | 金属・セラミックスの焼結技術 | オンライン | |
2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/5/27 | スパッタリング薄膜の密着性改善技術とトラブル対策 | オンライン | |
2024/5/28 | セラミックス材料の成形・焼結プロセスの基礎と機械・機能性向上のための微構造制御 | オンライン | |
2024/5/29 | 光結晶成長を用いるセラミックスの室温製膜技術と自由形状素材への展開で可能になる新たな製品デザイン | オンライン | |
2024/5/31 | Tダイ成形機の基礎とフィルム成形トラブル対策 | 会場 | |
2024/6/3 | セラミックス材料の成形・焼結プロセスの基礎と機械・機能性向上のための微構造制御 | オンライン | |
2024/6/4 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/6/6 | スパッタリングの基本と考え方、膜の作り方、その応用 | オンライン | |
2024/6/12 | セラミックス焼結・一体焼結プロセスの高度制御のための計測・解析技術 | オンライン | |
2024/6/18 | セラミック玉軸受の優位性の実験的評価と懸念事項 | オンライン | |
2024/6/21 | セラミックス焼結・一体焼結プロセスの高度制御のための計測・解析技術 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2024/2/29 | セラミックス・金属の焼成、焼結技術とプロセス開発 |
2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
2012/1/15 | 光学フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
2011/1/1 | セラミックス機能化ハンドブック |
2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
1997/11/1 | 回路部品の故障モードと加速試験 |
1992/5/1 | 液晶ビデオプロジェクタ技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |